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Jahresbericht 2009 - IMMS Institut für Mikroelektronik

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Die Fortschritte in der modernen Rechentechnik liefern<br />

verlässliche Simulationsergebnisse von Bauelementen<br />

und komplexen ICs. Zur Parameterextraktion<br />

und zur Verifikation der Modelle ist es unerlässlich,<br />

diese mit Hochfrequenz (HF)-Messungen bis in den<br />

GHz-Bereich zu hinterlegen. Als Messgeräte wurden<br />

bisher konventionelle Einzelgeräte benutzt. In Zukunft<br />

wird der Fokus jedoch vermehrt darauf liegen, modulare<br />

Testsysteme auf PXI-Basis zu nutzen, um die<br />

Messmöglichkeiten durch Softwareerweiterungen<br />

bzw. externe Messgeräte individuell jeder Messaufgabe<br />

optimal anpassen zu können. In Zusammenarbeit<br />

mit der X-FAB Semiconductor Foundries AG aus Erfurt<br />

wurden am <strong>IMMS</strong> verschiedenste Setups aufgestellt,<br />

um eine Reihe von HF-Zellen mit RF-IPs umfassend<br />

zu charakterisieren. Ziel war es, Parametersätze und<br />

Datenblätter zu erstellen, die dem Anwender einen<br />

effizienten Schaltungsentwurf ermöglichen.<br />

LÖSUNGSANSATZ<br />

Generell können die HF-Messungen auf Evaluierungsboards<br />

auf Platinen oder direkt auf dem<br />

Wafer unter Nutzung eines Waferprobers erfolgen.<br />

Die Kontaktierung erfolgt über impedanzkontrollierte<br />

HF-Nadeln (ACP-Probes), über eine Probecard<br />

oder in einer Testfixture. Der Einsatz von Labview-<br />

RF-IPS<br />

CHARAKTERISIERUNG MIT MODULAREN PXI-TESTSYSTEMEN<br />

„In Zukunft wird der Fokus vermehrt dar-<br />

auf liegen, modulare Testsysteme auf PXI-<br />

Basis zu nutzen, um die Messmöglichkeiten<br />

durch Softwareerweiterungen bzw. externe<br />

Messgeräte individuell jeder Messaufgabe<br />

optimal anpassen zu können.“<br />

<strong>Jahresbericht</strong> <strong>2009</strong> I HF-Zellen<br />

Messprogrammen auf modularen PXI-Testsystemen<br />

ermöglicht eine hohe Flexibilität bei der Messung,<br />

Analyse und Visualisierung der Ergebnisse.<br />

Die Auswertung der Messdaten bildet die Grundlage<br />

des Qualitätsmanagements, um eine gezielte Fehleranalyse<br />

durchzuführen. Weiterhin sind sie essentiell,<br />

um die Zuverlässigkeit der Simulationsergebnisse<br />

zu erhöhen und wesentliche Parameter <strong>für</strong> das Re-<br />

Design der Schaltungen zu liefern. Um einen komplexen<br />

HF-Transceiver entwickeln zu können, muss jeder<br />

einzelne interne Schaltungsblock evaluiert und charakterisiert<br />

werden. Jede HF-Zelle und jede Technologie<br />

hat dabei ihre speziellen Anforderungen und auch<br />

die geplante Anwendung bedingt unterschiedlichste<br />

Messaufgaben.<br />

Ganz allgemein muss eine Vielzahl von Schaltungsblöcken<br />

und IPs betrachtet werden:<br />

• Bandgaps<br />

• Bias Zellen<br />

• Operationsverstärker<br />

• Oszillatoren<br />

• ADCs/DACs<br />

• Spannungsregler<br />

• HF-Zellen<br />

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