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Jahresbericht 2009 - IMMS Institut für Mikroelektronik

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Damit ist sowohl die Steuerbarkeit und Kommunikation<br />

der Module als auch eine mechanisch sichere<br />

Befestigung gewährleistet.<br />

Auf der Basis von speziell entwickelten Terminalmodulen<br />

realisiert das <strong>IMMS</strong> eine Zwischenschicht, die die<br />

Adaptierung der verschiedenen Testerinstrumente auf<br />

das gemeinsame Bussystem ermöglicht.<br />

KONZEPT DES BUSSYSTEMS<br />

UND DER TERMINALMODULE<br />

Abbildung 2: Terminal Modul Block<br />

Um das Ziel zu erreichen, prinzipiell jedes Instrument<br />

auf jeden Messkanal routen zu können, muss jedes<br />

Terminalmodul Zugriff auf den gesamten Messkanalbus<br />

bekommen. Das eingesetzte Bussystem besteht<br />

<strong>Jahresbericht</strong> <strong>2009</strong> I PXI-Testsystem<br />

aus 200 Leitungen, davon 100 Signale und 100<br />

Masseleitungen, die über Steckverbinder senkrecht<br />

zu den Terminalmodulen geführt werden. Die offenen<br />

Leitungsenden sind somit nur so lang wie <strong>für</strong> die<br />

eingesetzte Anzahl an Instrumenten nötig. Zum Abschluss<br />

des Busses dient ein spezielles Terminalmodul,<br />

welches die gewünschte Kanalzuordnung auf die Anschlussleitungen<br />

zum Waferprober bzw. zur Probecard<br />

führt.<br />

Jedes Terminalmodul ist auf der Seite des PXI-Systems<br />

individuell an das jeweilige Testerinstrument<br />

angepasst. Die von den Instrumenten bereitgestellten<br />

Messkanäle variieren zwischen einem bis weit über<br />

100 Signale. Die Bus- und Modularchitektur erlaubt<br />

es, auf einen Messkanal mehrere Instrumente zu<br />

schalten. Die da<strong>für</strong> nötige Ansteuerung von Relais<br />

oder elektronischen Schaltern wird auf dem Modul zur<br />

Verfügung gestellt. Jedes Modul verfügt über einen<br />

Mikrocontroller, der mit der Teststeuerung über den<br />

von der ABex bereitgestellten I²C Bus kommuniziert.<br />

Die Erkennung der eingesetzten Terminalmodule und<br />

deren Adressen, bzw. Einbaupositionen im System, ist<br />

unter Verwendung des ABex-Controllers vollständig<br />

automatisiert. Durch den Einsatz eines Mikrocontrollers<br />

sind schnelle und vorprogrammierte Schaltfolgen<br />

der Messkanäle möglich. Des Weiteren bietet eigene<br />

Intelligenz auf jedem Modul eine sehr hohe Flexibilität<br />

und Anpassbarkeit an zukünftige Testaufgaben.<br />

Die Terminalmodularchitektur bietet auch Möglichkeiten,<br />

die Signale zum oder vom Messobjekt zu<br />

verändern und zu beeinflussen und somit gezielt die<br />

Eigenschaften der PXI-Instrumente optimal zu nutzen.<br />

Die Terminalmodule enthalten nur die Signalschalter<br />

und die Signalkonditionierung. Die Zuordnung<br />

auf den Bus wird von fest verdrahteten, projektspezifischen<br />

Codierplatinen durchgeführt. Diese Platinen<br />

enthalten keine eigene Logik, keine teuren Bauelemente<br />

und sind zudem relativ klein.<br />

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