Jahresbericht 2009 - IMMS Institut für Mikroelektronik

Beim Einsatz von Fotodioden in multimedialen Anwendungen,
wie Lese- und Schreibgeräte für CD, herkömmliche
DVD und neuartige Blu-Ray-DVD, werden
die Anforderungen an die Geschwindigkeit und die
Empfindlichkeit der integrierten optoelektronischen
Schaltkreise, insbesondere an die darin eingebetteten
Fotodioden, immer größer. Bei der Charakterisierung
solcher Systeme stellt die Untersuchung des Laserstrahls
einen wichtigen Bestandteil dar. Bisher wird
dazu ein Lasermesskopf eingesetzt. Damit entstehen
aber auch messtechnische Probleme, die durch einen
Transfer der Strahlcharakterisierung auf Wafer-Ebene
behoben werden können.
Bei den bisher eingesetzten Verfahren nutzte man einen
Laserscanner, der ein eigenes Bauteil ist und als
externes Messgerät dient. In dem vom IMMS umgesetzten
neuartigen Verfahren wurden nun neue Teststrukturen
entworfen und direkt auf dem Wafer prozessiert.
Das heißt, die Strahlcharakterisierung wird
im Waferprober selbst möglich. Die so durchgeführte
Strahlcharakterisierung entspricht den gleichen Umgebungsbedingungen
wie die Messung eines opto-
elektronischen Chips am Waferprober.
FOTODIODE
VERBESSERUNG DER TESTQUALITÄT FÜR
OPTOELEKTRONISCHE SCHALTUNGEN
„Beim Einsatz von Fotodioden in multimedialen
Anwendungen werden die Anforderungen an die
Geschwindigkeit und die Empfindlichkeit der
integrierten optoelektronischen Schaltkreise,
insbesondere an die darin eingebetteten Fotodi-
oden, immer größer.“
Jahresbericht 2009 I Fotodiode
CHARAKTERISIERUNG DES
LASER-STRAHLPROFILS
Abbildung 1: Beispielscan mit dem BeamScope-P7 für ein Strahlprofil
am Mikroskopobjektiv ( =400nm)
Zur Vermessung des transversalen Strahlprofils der im
IMMS benutzten Laser wurde bisher der Laserscanner
BeamScope-P7 eingesetzt. Darin befindet sich eine
Zunge, die periodisch ein- und ausgefahren wird. Auf
der Zunge sitzen nebeneinander zwei Fotodioden.
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© Daniel Pfeiffenberger / PIXELIO