Nickelreaktivlot / Oxidkeramik-Fügungen als elektrisch ... - JuSER
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0,5 1 ,5 2 ,5 3 ,5 4 ,5 5 ,5 6 ,5 7 ,5<br />
97<br />
Da alle MgO – Substrate dagegen auch bei 1040°C / 5 min gut gefügt werden konnten, ist in<br />
diesem Fall vielmehr eine Absenkung mit leicht verminderter Festigkeit, jedoch geringerer<br />
Materialbeanspruchung und gesenkten Prozesskosten eine Option.<br />
100<br />
80<br />
Bruchenergie [J/cm . . 2 ] .<br />
60<br />
40<br />
20<br />
0<br />
Prozess<br />
1040°C, 5 min<br />
1050°C, 10 min<br />
1070°C, 15 min<br />
1050°C, 10 min<br />
1070°C, 15 min<br />
1050°C, 10 min<br />
1070°C, 15 min<br />
Hochvakuum 10 -4 mbar (Grafitheizelemente & -auskleidung) /<br />
~ 50 kPa Fügepressung<br />
Lot<br />
Ni102+5TiH 2<br />
Ni102 &<br />
Cu10Ti (6:1)<br />
Ni102+5ZrH 2<br />
2<br />
Abb. 6-45: Die berechneten Bruchenergien der Fügungen mit PVD-Beschichtung zeigen die Steigerung der<br />
Bruchfestigkeit durch die Erhöhung der Löttemperatur. Dabei ist die Korrelation mit den Ergebnissen aus den<br />
Schälversuchen außerordentlich groß {gekerbter 4-Punkt-Biegeversuch nach Charalambides mit anschließender<br />
Berechnung der Bruchenergien nach Gl. 6: = E max = Energie zur Rissinitiierung; = E plat = Energie zum<br />
Rissfortschritt}.<br />
Eine Erklärung für den steilen Abfall der Festigkeiten titanhaltiger Varianten bei überhöhten<br />
Löttemperaturen liefert die Betrachtung der TEM- sowie STEM/EDX-Analysen. Darin wird ein<br />
deutliches, jedoch sehr inhomogenes Wachstum der bereits beschriebenen spröden<br />
Mg-Ti-O-Übergangszone auf bis zu 140 nm belegt (Abb. 6-46). Zudem ist ein Zuwachs der<br />
Fehlstellen im Grenzbereich qualitativ feststellbar. Die Kombination dieser beiden Effekte<br />
verringert die Festigkeit und führt zu einem frühzeitigeren Versagen der Verbindungen, womit<br />
das Verhalten der <strong>Nickelreaktivlot</strong>e einmal mehr in Analogie zu dem von Silber-Reaktivloten steht<br />
[63, 65, 93]. Bei den raueren MgO-Substraten kommen das Wachstum der Ti-Mg-O-<br />
Übergangszone sowie die „Nanoporen“ weniger zum Tragen, da die mechanische<br />
Verklammerung davon nicht signifikant beeinflusst ist.