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Nickelreaktivlot / Oxidkeramik-Fügungen als elektrisch ... - JuSER

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0,5 1 ,5 2 ,5 3 ,5 4 ,5 5 ,5 6 ,5 7 ,5<br />

97<br />

Da alle MgO – Substrate dagegen auch bei 1040°C / 5 min gut gefügt werden konnten, ist in<br />

diesem Fall vielmehr eine Absenkung mit leicht verminderter Festigkeit, jedoch geringerer<br />

Materialbeanspruchung und gesenkten Prozesskosten eine Option.<br />

100<br />

80<br />

Bruchenergie [J/cm . . 2 ] .<br />

60<br />

40<br />

20<br />

0<br />

Prozess<br />

1040°C, 5 min<br />

1050°C, 10 min<br />

1070°C, 15 min<br />

1050°C, 10 min<br />

1070°C, 15 min<br />

1050°C, 10 min<br />

1070°C, 15 min<br />

Hochvakuum 10 -4 mbar (Grafitheizelemente & -auskleidung) /<br />

~ 50 kPa Fügepressung<br />

Lot<br />

Ni102+5TiH 2<br />

Ni102 &<br />

Cu10Ti (6:1)<br />

Ni102+5ZrH 2<br />

2<br />

Abb. 6-45: Die berechneten Bruchenergien der Fügungen mit PVD-Beschichtung zeigen die Steigerung der<br />

Bruchfestigkeit durch die Erhöhung der Löttemperatur. Dabei ist die Korrelation mit den Ergebnissen aus den<br />

Schälversuchen außerordentlich groß {gekerbter 4-Punkt-Biegeversuch nach Charalambides mit anschließender<br />

Berechnung der Bruchenergien nach Gl. 6: = E max = Energie zur Rissinitiierung; = E plat = Energie zum<br />

Rissfortschritt}.<br />

Eine Erklärung für den steilen Abfall der Festigkeiten titanhaltiger Varianten bei überhöhten<br />

Löttemperaturen liefert die Betrachtung der TEM- sowie STEM/EDX-Analysen. Darin wird ein<br />

deutliches, jedoch sehr inhomogenes Wachstum der bereits beschriebenen spröden<br />

Mg-Ti-O-Übergangszone auf bis zu 140 nm belegt (Abb. 6-46). Zudem ist ein Zuwachs der<br />

Fehlstellen im Grenzbereich qualitativ feststellbar. Die Kombination dieser beiden Effekte<br />

verringert die Festigkeit und führt zu einem frühzeitigeren Versagen der Verbindungen, womit<br />

das Verhalten der <strong>Nickelreaktivlot</strong>e einmal mehr in Analogie zu dem von Silber-Reaktivloten steht<br />

[63, 65, 93]. Bei den raueren MgO-Substraten kommen das Wachstum der Ti-Mg-O-<br />

Übergangszone sowie die „Nanoporen“ weniger zum Tragen, da die mechanische<br />

Verklammerung davon nicht signifikant beeinflusst ist.

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