Biblioteca Digital | FCEN-UBA | Piotrkowski, Rosa. 1990 "Carburos ...

2.4.2 Descripcibn de Algunas Tkcnicas Experimentales
2.4.2.1. 'hIicroscopia Elect Anica de Barrido
El micr~scopio electr6nico dl: barrido [PO331 consiste en 10s siguientes ~nijdulos:
- Columna 6ptico-electrdnica, generadora de un haz de electrones finamente colimados que inciden
sobre la superficie de la muestra.
- Sistema de defleccihn doble del haz electrbnico.
- Sistema de detecci6n de seiiales originadas en la superficie de la muestra.
- Sistema electrbnico de defleccibn de estas sefiales.
- Sistema de visualizaci6n de imigenes: tub0 de rayos cat6dicos.
Una regi6n de la superficie de la muestra es explorada mediante un barrido horizontal g otro
vertical del haz de electrones. Este barrido se logra mediante las bobinas del sistema de deflecciijn
a las que se aplica m a determinada seiial, la que es aplicda simultaneamente a1 haz del tub0 de
rayos cat6dicos. Esto da lugar a una correspondencia punto a punto entre la superficie de la muestra
barrida por el haz de elertrones y la pantalla fluorescente del tubo. La Fig. 2.8 muestra un esquema
de microscopio electr6nico de barrido.
Un punto de la superficie de la muestra alcanzado por el haz de ele~t~rones da origen a distintas
sefiales, que pueden ser detectadas independientemente y convert.idas en un pulso elktrico g luego
convenientemente amplificadas por un sistema electronico. Una de estas senales es elegida para
modular la intensidad del haz del tubo de sayos cat6$cos y este hecho define el mod0 de operaci6n
del microscopio electrbnico de barrido.
La Fig. 2.7 muestra el esquema de un detector de electrones secundarios. Los electrones son
acelerados por la grilla hacia el cristal centelleador. Se origins asi un pulso luminoso que pasa por
una guia de luz hacia el fotomultiplicador. La cascada de fotones resultante es convertida en un
pulso eldctrico por el detector final, y este putso es amplificado por el sistemi, electrbnico. El mismo
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