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Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid - Materials Science ...

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11. Producción <strong>de</strong> nanoestructuras<br />

mediante bombar<strong>de</strong>o <strong>de</strong> iones <strong>de</strong> baja<br />

energía<br />

Palabras clave: bombar<strong>de</strong>o iónico, nanoestructuras <strong>de</strong><br />

silicio, microscopía <strong>de</strong> fuerzas atómicas<br />

Hemos comparado la dinámica <strong>de</strong> los procesos <strong>de</strong> formación<br />

<strong>de</strong> nanocristales <strong>de</strong> silicio (nanodots) y <strong>de</strong> estrías<br />

(“ripples”) sobre superficies <strong>de</strong> silicio mediante el<br />

bombar<strong>de</strong>o <strong>de</strong> una superficie <strong>de</strong> silicio por iones <strong>de</strong><br />

argón <strong>de</strong> baja energía (1.2 keV). En el primer caso el<br />

bombar<strong>de</strong>o ocurre bajo inci<strong>de</strong>ncia normal mientras que<br />

el segundo tipo <strong>de</strong> estructuras aparecen cuando la inci<strong>de</strong>ncia<br />

no es normal a la superficie <strong>de</strong>l sustrato.<br />

Mientras en el primer caso la rugosidad superficial era<br />

muy baja, 2 nm, y saturaba tras unos 2 minutos <strong>de</strong><br />

bombar<strong>de</strong>o, en el segundo caso la rugosidad crecía<br />

conforme la dosis iónica aumentaba. Estos comportamientos<br />

tan diferentes se explicaron en base a la<br />

<strong>de</strong>pen<strong>de</strong>ncia <strong>de</strong>l coeficiente <strong>de</strong> “sputtering” con la curvatura<br />

local <strong>de</strong> la superficie (nanodots) y a los efectos<br />

<strong>de</strong> sombreado existentes cuando el bombar<strong>de</strong>o tenía<br />

lugar fuera <strong>de</strong> la normal a la superficie (estrías).<br />

11. Production of nanostructures by lowenergy<br />

ion sputtering<br />

Keywords: ion beam sputtering, silicon nanostructures,<br />

atomic force microscopy (AFM)<br />

We have compared the dynamic behavior of the processes<br />

of formation of silicon nanocrystals (nanodots) and<br />

of silicon ripples by low energy (1.2 keV) argon ion<br />

beam bombardment on silicon surfaces. In the first<br />

case, the bombardment is normal to the substrate surface<br />

while in the second one takes place un<strong>de</strong>r off-normal<br />

conditions. Whereas in the first case the surface<br />

roughness is quite low (2 nm) and saturates after 2<br />

minutes of bombardment, in the second one the surface<br />

roughness increases continuously with the ion dose.<br />

These different behaviors have been explained on the<br />

basis of the sputtering yield <strong>de</strong>pen<strong>de</strong>nce on the local<br />

surface curvature (nanodots) and the shadowing effects<br />

that occur when the bombardment takes place un<strong>de</strong>r<br />

off- normal conditions (ripples).<br />

1. R. Gago, L. Vázquez, R. Cuerno, M. Varela, C. Ballesteros and J.M. Albella, Nanotechnology, 13 (2002) 304.<br />

Proyectos:<br />

New coatings materials for high performance cutting tools. Código: 65RD-CT-2000-00333, Período: 1/2/2001 - 31/1/2004,<br />

Fuente <strong>de</strong> financiación: CE, Importe total (euros): 168.283, Investigador Principal: Albella Martín, J.M.,<br />

Investigadores: Román García, E.; Jiménez Guerrero, I. , Becarios y Doctorandos: Auger Martínez, M.A.; Caretti Giangaspro, I.,<br />

Personal <strong>de</strong> apoyo: Ortiz Álvarez, J.<br />

12. Propieda<strong>de</strong>s físicas <strong>de</strong> sistemas<br />

cuasi-periódicos<br />

Palabras clave: electrones, fonones, sistemas cuasiperiódicos<br />

Se han estudiado las propieda<strong>de</strong>s electrónicas <strong>de</strong> sistemas<br />

cuasi-periódicos que siguen las secuencias <strong>de</strong><br />

Fibonacci, Thue-Morse y Rudin-Shapiro, mediante un<br />

mo<strong>de</strong>lo tight-binding empírico que permite efectuar<br />

cálculos realistas. Se han estudiado los efectos <strong>de</strong> la<br />

composición <strong>de</strong> los bloques <strong>de</strong> la secuencia sobre el<br />

espectro electrónico. Los resultados obtenidos se comparan<br />

bien con los escasos resultados experimentales<br />

existentes [1], aunque no presentan las características<br />

predichas por los mo<strong>de</strong>los sencillos habitualmente<br />

empleados. Se ha estudiado asimismo la conductividad<br />

térmica en sistemas cuasi-periódicos [2], constatando<br />

que estos sistemas presentan propieda<strong>de</strong>s<br />

físicas intermedias entre las <strong>de</strong> los sistemas periódicos<br />

y los <strong>de</strong>sor<strong>de</strong>nados. Se han estudiado también las propieda<strong>de</strong>s<br />

<strong>de</strong> las ondas elásticas en sistemas cuasiperiódicos<br />

[3], así como el efecto <strong>de</strong> <strong>de</strong>fectos planos<br />

sobre las propieda<strong>de</strong>s <strong>de</strong> las ondas elásticas en estos<br />

sistemas. Se ha comprobado que la presencia <strong>de</strong> <strong>de</strong>fectos<br />

planos pue<strong>de</strong> producir importantes cambios en el<br />

coeficiente <strong>de</strong> transmisión.<br />

12. Physical properties of quasi-periodic<br />

systems<br />

Keywords: electrons, phonons, quasi-periodic systems<br />

We have studied the electronic properties of quasiperiodic<br />

systems obeying the Fibonacci, Thue-Morse<br />

and Rudin-Shapiro sequences. We have employed an<br />

empirical tight-binding mo<strong>de</strong>l allowing to perform realistic<br />

calculations. We have studied the effects of the<br />

composition of the material blocks forming the<br />

sequence on the electronic spectrum. Our results agree<br />

quite well with the existing experimental results [1],<br />

although they do not exhibit the characteristics predicted<br />

by the simple mo<strong>de</strong>ls usually employed. We have<br />

studied the thermal conductivity in quasi-periodic<br />

systems [2], thus showing that they exhibit intermediate<br />

properties between those of the periodic and random<br />

systems. We have studied also the properties of the<br />

elastic waves in quasi-periodic systems [3], and the<br />

effect of planar <strong>de</strong>fects on the elastic waves in these<br />

systems. We have shown that the presence of planar<br />

<strong>de</strong>fects can produce strong changes in the transmission<br />

coefficient.<br />

1. J. E. Zárate and V. R. Velasco, Phys. Rev. B, 65, 045304-1 (2002)<br />

2. R. Curbelo-Blanco, F. <strong>de</strong> León-Pérez, R. Pérez-Alvarez and V. R. Velasco, Phys. Rev. B, 65, 172201-1 (2002)<br />

3. V. R. Velasco, R. Pérez-Alvarez and F. García-Moliner, J. Phys.: Con<strong>de</strong>ns. Matter, 14, 5933 (2002)<br />

Proyectos:<br />

Electrones <strong>de</strong> conducción en sistemas nanométricos. Código: BFM2000-1330. Período: 19/12/2000 - 19/12/2003,<br />

Fuente <strong>de</strong> financiación: Dirección General <strong>de</strong> Investigación, MCyT, Importe total (euros): 48.129, Investigador Principal: Muñoz <strong>de</strong><br />

Pablo, M.C., Investigadores: Fernán<strong>de</strong>z Rodríguez, M.; Velasco Rodríguez, V.; Chico Gómez,L.;Fernán<strong>de</strong>z Velicia,F.J., Becarios y<br />

Doctorandos: Gallego Queipo, S.<br />

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