Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid - Materials Science ...

5. Crecimiento MBE y caracterización de
superredes de Co/Ag sobre Si(111)
Palabras clave: superredes metálicas magnéticas, crecimiento
epitaxial, silicio
Se ha investigado el crecimiento MBE (Molecular Beam
Epitaxy) de superredes de Co/Ag sobre sustratos de
Si(111). El crecimiento de capas delgadas y multicapas
de Co sobre obleas monocristalinas de Si tiene gran
interés cara a la integración de dispositivos magnetoópticos
y magneto-resistivos en microelectrónica. Para
facilitar el crecimiento de las superredes se han usado
capas intermedias de Si y Ag crecidas sucesivamente,
también por MBE, sobre superficies Si(111)7x7. Las
características morfológicas, estructurales y químicas
de muestras crecidas bajo distintas condiciones (variando
temperaturas de sustrato, ritmos de evaporación,
espesor de cada capa, número de periodos, ...) han sido
analizadas mediante RHEED, LEED, AES, AFM, XRD y HR-
TEM, prestándose especial atención al estudio de las
intercaras.
5. MBE growth and characterization of
Co/Ag superlattices on Si(111)
Keywords: magnetic multilayers, MBE growth, silicon
The Molecular Beam Epitaxy (MBE) growth of Co/Ag
superlattices on Si(111) substrates has been investigated.
The growth of Co-based layered structures (thin
films and multilayers) on single-crystal Si wafers is interesting
for magnetoelectronics in order to combine
magnetic and microlectronic devices, since Si- technology
is widely developed. To facilitate the growth of the
superlattices we used Si and Ag buffer layers successively
grown on Si(111)7x7 surfaces. The structural, chemical
and morphological features of samples obtained
upon different growth conditions (varying substrate
temperatures, growth rates, layer thickness, number of
periods, ...) have been studied by RHEED, LEED, AES,
AFM, XRD, and HR-TEM techniques, paying special
attention to the analysis of the interfaces.
1. Ag buffer layers for Co/Ag superlattices on Si(111); P.P. Martín, C. Ocal, M. Varela, M. Alonso and A. Ruiz; (submitted to Appl. Surf.
Sci.) ICSFS-11.
2. P.P. Martin, C.E.Alonso, I.Domingo, A.Ruiz, Vacuum 64, 373 (2002).
Proyectos:
Nanoestructuras para dispositivos magnetoelectrónicos: síntesis MBE y propiedades. Código: MAT2001-1596, Período: 28/12/2001 -
27/12/2004, Fuente de financiación: MCyT, Importe total (euros): 72.572,20, Investigador Principal: Alonso Prieto, M., Investigadores:
Soria Gallego, F.; Iribas Cerdá, J., Becarios y Doctorandos: Martín Alonso, P.P.
PB97-1195,
CAM-7N/0042/1998
6. Crecimiento y caracterización de capas
delgadas de boro-carbono-nitrógeno
Palabras clave: láminas delgadas de carbono-boronitrógeno,
evaporación asistida, recubrimientos duros
Mediante la técnica de evaporación asistida con haces
de iones (IBAD)se han depositado capas delgadas de
compuestos ternarios de boro, carbono y nitrógeno.
Las capas fueron obtenidas por evaporación de B y C
utilizando dos cañones de electrones. El sistema está
provisto además de un cañón de iones alimentado con
una mezcla de gases precursores N 2
+ Ar que permite
un bombardeo simultáneo con iones de diferente energía.
Se han estudiado las condiciones de preparación
que permiten obtener recubrimientos según la formula
estequiométrica C X
(BN) 1-x
con objeto de obtener una
estructura de enlace tipo cúbico (orbitales del tipo sp 3 )
y con ello una mayor dureza de las capas depositadas.
La composición y estructura de enlace del material ha
sido analizada cuidadosamente mediante técnicas de
EDS y XANES. Así mismo, se llevado a cabo la caracterización
mecánica mediante medidas de dureza, módulo
elástico y coeficientes de fricción y desgaste.
6. Growth and characterisation of
boron-carbon- nitrogen thin films
Keywords: carbon-boron-nitrogen thin films, assisted
evaporation, hard coatings
Ion beam assisted deposition (IBAD) techniques have
been used to produce thin films ternary compounds of
boron, carbon, and nitrogen atoms. The films were
deposited by evaporation of B and C using an electron
gun. The system is also provided with and ion gun for
simultaneous ion bombardment with N2 + Ar gas mixture
of different energies. We have studied the preparation
conditions leading to coatings with the stoiquiometric
formula C x
(BN) I-x
which is supposed to show a
cubic crystalline structure The composition and bonding
structure of the films have been carefully studied
by EDS and XANES. Mechanical characterisation of the
films has been also performed, including measurements
of hardness, elastic modulus, and friction coefficient.
1. R. Gago, I. Jiménez, J.M. Albella, I. García, Vacuum, 64 (2002) 199-204.
2. R. Gago, I. Jiménez, U. Kreissig, J. M. Albella. Diamond and Related Materials, 11 (2002) 1295-1299
3. R. Gago, I. Jiménez, F. Agulló-Rueda, J. M. Albella, Zs. Czigany, L. Hultman. Journal of Applied Physics, 92 (2002).
Proyectos:
New coatings materials for high performance cutting tools. Código: 65RD-CT-2000-00333. Período: 1/2/2001 - 31/1/2004, Fuente de
financiación: CE, Importe total (euros): 168.283, Investigador Principal: Albella Martín, J.M., Investigadores: Román García, E.;
Jiménez Guerrero, I. , Becarios y Doctorandos: Auger Martínez, M.A.; Caretti Giangaspro, I., Personal de apoyo: Ortiz Álvarez, J.
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