Сборник списков контролируемых товаров и технологий
Сборник списков контролируемых товаров и технологий
Сборник списков контролируемых товаров и технологий
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
Категор<strong>и</strong>я 2. ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ<br />
Табл<strong>и</strong>ца к пункту 2.5.3.6. Техн<strong>и</strong>ческ<strong>и</strong>е пр<strong>и</strong>емы нанесен<strong>и</strong>я покрыт<strong>и</strong>й<br />
Сп<strong>и</strong>сок 580<br />
Раздел 1.<br />
17. Не контрол<strong>и</strong>руются технолог<strong>и</strong><strong>и</strong>, спец<strong>и</strong>ально разработанные для нанесен<strong>и</strong>я алмазоподобного<br />
углерода на любые <strong>и</strong>з следующ<strong>и</strong>х <strong>и</strong>здел<strong>и</strong>й, про<strong>и</strong>зведенных <strong>и</strong>з сплавов, содержащ<strong>и</strong>х менее 5%<br />
бер<strong>и</strong>лл<strong>и</strong>я: д<strong>и</strong>сководы (накоп<strong>и</strong>тел<strong>и</strong> на магн<strong>и</strong>тных д<strong>и</strong>сках) <strong>и</strong> головк<strong>и</strong>, оборудован<strong>и</strong>е для про<strong>и</strong>зводства<br />
расходных матер<strong>и</strong>алов, клапаны для вент<strong>и</strong>лей, д<strong>и</strong>ффузоры громкоговор<strong>и</strong>телей, детал<strong>и</strong><br />
автомоб<strong>и</strong>льных дв<strong>и</strong>гателей, режущ<strong>и</strong>е <strong>и</strong>нструменты, вырубные штампы <strong>и</strong> пресс-формы для<br />
штамповк<strong>и</strong>, оргтехн<strong>и</strong>ка, м<strong>и</strong>крофоны, мед<strong>и</strong>ц<strong>и</strong>нск<strong>и</strong>е пр<strong>и</strong>боры <strong>и</strong>л<strong>и</strong> формы для л<strong>и</strong>тья <strong>и</strong>л<strong>и</strong> формован<strong>и</strong>я<br />
пластмассы.<br />
18. Карб<strong>и</strong>д кремн<strong>и</strong>я не включает матер<strong>и</strong>алы, пр<strong>и</strong>меняемые для режущего <strong>и</strong>нструмента <strong>и</strong> <strong>и</strong>нструмента<br />
для обработк<strong>и</strong> металлов давлен<strong>и</strong>ем.<br />
19. "Керам<strong>и</strong>ческ<strong>и</strong>е подложк<strong>и</strong>" в том смысле, в котором этот терм<strong>и</strong>н пр<strong>и</strong>меняется в настоящем<br />
пункте, не включают в себя керам<strong>и</strong>ческ<strong>и</strong>е матер<strong>и</strong>алы, содержащ<strong>и</strong>е 5% (по весу) <strong>и</strong>л<strong>и</strong> более связующ<strong>и</strong>х<br />
как отдельных компонентов, а также в сочетан<strong>и</strong><strong>и</strong> с друг<strong>и</strong>м<strong>и</strong> компонентам<strong>и</strong>.<br />
Техн<strong>и</strong>ческ<strong>и</strong>е пр<strong>и</strong>мечан<strong>и</strong>я к табл<strong>и</strong>це:<br />
Процессы, указанные в колонке "Процесс нанесен<strong>и</strong>я покрыт<strong>и</strong>я", определяются следующ<strong>и</strong>м<br />
образом:<br />
1. Х<strong>и</strong>м<strong>и</strong>ческое осажден<strong>и</strong>е <strong>и</strong>з паровой фазы (CVD) - это процесс нанесен<strong>и</strong>я внешнего покрыт<strong>и</strong>я <strong>и</strong>л<strong>и</strong><br />
покрыт<strong>и</strong>я с мод<strong>и</strong>ф<strong>и</strong>кац<strong>и</strong>ей поверхност<strong>и</strong> подложк<strong>и</strong>, когда металл, сплав, композ<strong>и</strong>ц<strong>и</strong>онный<br />
матер<strong>и</strong>ал, д<strong>и</strong>электр<strong>и</strong>к <strong>и</strong>л<strong>и</strong> керам<strong>и</strong>ка осаждается на нагретую подложку. Газообразные реагенты<br />
разлагаются <strong>и</strong>л<strong>и</strong> соед<strong>и</strong>няются вбл<strong>и</strong>з<strong>и</strong> подложк<strong>и</strong> <strong>и</strong>л<strong>и</strong> на самой подложке, в результате<br />
чего на ней осаждается требуемый матер<strong>и</strong>ал в форме х<strong>и</strong>м<strong>и</strong>ческого элемента, сплава <strong>и</strong>л<strong>и</strong> соед<strong>и</strong>нен<strong>и</strong>я.<br />
Энерг<strong>и</strong>я для указанных х<strong>и</strong>м<strong>и</strong>ческ<strong>и</strong>х реакц<strong>и</strong>й может быть обеспечена теплом подложк<strong>и</strong>,<br />
плазмой тлеющего разряда <strong>и</strong>л<strong>и</strong> лучом лазера.<br />
Особые пр<strong>и</strong>мечан<strong>и</strong>я:<br />
а) CVD включает следующ<strong>и</strong>е процессы: осажден<strong>и</strong>е в направленном газовом потоке без непосредственного<br />
контакта засыпк<strong>и</strong> с подложкой, CVD с пульс<strong>и</strong>рующ<strong>и</strong>м реж<strong>и</strong>мом, терм<strong>и</strong>ческое<br />
осажден<strong>и</strong>е с управляемым образован<strong>и</strong>ем центров кр<strong>и</strong>сталл<strong>и</strong>зац<strong>и</strong><strong>и</strong> (CNTD),<br />
CVD с пр<strong>и</strong>менен<strong>и</strong>ем плазменного разряда, ускоряющего процесс;<br />
б) засыпка означает погружен<strong>и</strong>е подложк<strong>и</strong> в порошковую смесь;<br />
в) газообразные реагенты, <strong>и</strong>спользуемые в процессе без непосредственного контакта засыпк<strong>и</strong><br />
с подложкой, про<strong>и</strong>зводятся с пр<strong>и</strong>менен<strong>и</strong>ем тех же основных реакц<strong>и</strong>й <strong>и</strong> параметров,<br />
что <strong>и</strong> пр<strong>и</strong> твердофазном д<strong>и</strong>ффуз<strong>и</strong>онном насыщен<strong>и</strong><strong>и</strong>.<br />
2. Ф<strong>и</strong>з<strong>и</strong>ческое осажден<strong>и</strong>е <strong>и</strong>з паровой фазы, получаемой нагревом, - это процесс нанесен<strong>и</strong>я внешнего<br />
покрыт<strong>и</strong>я в вакууме пр<strong>и</strong> давлен<strong>и</strong><strong>и</strong> н<strong>и</strong>же 0,1 Па с <strong>и</strong>спользован<strong>и</strong>ем какого-л<strong>и</strong>бо <strong>и</strong>сточн<strong>и</strong>ка<br />
тепловой энерг<strong>и</strong><strong>и</strong> для <strong>и</strong>спарен<strong>и</strong>я матер<strong>и</strong>ала покрыт<strong>и</strong>я. Процесс пр<strong>и</strong>вод<strong>и</strong>т к конденсац<strong>и</strong><strong>и</strong><br />
<strong>и</strong>л<strong>и</strong> осажден<strong>и</strong>ю пара на соответствующ<strong>и</strong>м образом установленную подложку.<br />
Обычной мод<strong>и</strong>ф<strong>и</strong>кац<strong>и</strong>ей процесса является напуск газа в вакуумную камеру в целях с<strong>и</strong>нтеза<br />
х<strong>и</strong>м<strong>и</strong>ческого соед<strong>и</strong>нен<strong>и</strong>я в покрыт<strong>и</strong><strong>и</strong>.<br />
Использован<strong>и</strong>е <strong>и</strong>онного <strong>и</strong>л<strong>и</strong> электронного пучка л<strong>и</strong>бо плазмы для акт<strong>и</strong>в<strong>и</strong>зац<strong>и</strong><strong>и</strong> нанесен<strong>и</strong>я<br />
покрыт<strong>и</strong>я <strong>и</strong>л<strong>и</strong> участ<strong>и</strong>я в этом процессе является также обычной мод<strong>и</strong>ф<strong>и</strong>кац<strong>и</strong>ей этого метода.<br />
Пр<strong>и</strong>менен<strong>и</strong>е контрольно-<strong>и</strong>змер<strong>и</strong>тельных устройств для <strong>и</strong>змерен<strong>и</strong>я в технолог<strong>и</strong>ческом<br />
процессе опт<strong>и</strong>ческ<strong>и</strong>х характер<strong>и</strong>ст<strong>и</strong>к <strong>и</strong> толщ<strong>и</strong>ны покрыт<strong>и</strong>я может быть особенностью эт<strong>и</strong>х<br />
процессов. Особенност<strong>и</strong> конкретных процессов ф<strong>и</strong>з<strong>и</strong>ческого осажден<strong>и</strong>я <strong>и</strong>з паровой фазы,<br />
получаемой нагревом, состоят в следующем:<br />
а) ф<strong>и</strong>з<strong>и</strong>ческое осажден<strong>и</strong>е <strong>и</strong>з паровой фазы, полученной нагревом электронным пучком, <strong>и</strong>спользует<br />
пучок электронов для нагреван<strong>и</strong>я <strong>и</strong> <strong>и</strong>спарен<strong>и</strong>я матер<strong>и</strong>ала, образующего покрыт<strong>и</strong>е;<br />
б) <strong>и</strong>онно-асс<strong>и</strong>ст<strong>и</strong>рованное ф<strong>и</strong>з<strong>и</strong>ческое осажден<strong>и</strong>е <strong>и</strong>з паровой фазы, полученной рез<strong>и</strong>ст<strong>и</strong>вным<br />
нагревом, <strong>и</strong>спользует рез<strong>и</strong>ст<strong>и</strong>вные нагревател<strong>и</strong> в сочетан<strong>и</strong><strong>и</strong> с падающ<strong>и</strong>м <strong>и</strong>онным<br />
ДН (05) Л<strong>и</strong>ст 71 <strong>и</strong>з 286
Change language