Сборник списков контролируемых товаров и технологий
Сборник списков контролируемых товаров и технологий
Сборник списков контролируемых товаров и технологий
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
Категор<strong>и</strong>я 2. ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ<br />
Табл<strong>и</strong>ца к пункту 2.5.3.6. Техн<strong>и</strong>ческ<strong>и</strong>е пр<strong>и</strong>емы нанесен<strong>и</strong>я покрыт<strong>и</strong>й<br />
Сп<strong>и</strong>сок 580<br />
Раздел 1.<br />
верхност<strong>и</strong> м<strong>и</strong>шен<strong>и</strong> (матер<strong>и</strong>ала покрыт<strong>и</strong>я). К<strong>и</strong>нет<strong>и</strong>ческая энерг<strong>и</strong>я падающ<strong>и</strong>х на м<strong>и</strong>шень <strong>и</strong>онов<br />
достаточна для выб<strong>и</strong>ван<strong>и</strong>я атомов с поверхност<strong>и</strong> м<strong>и</strong>шен<strong>и</strong>, которые затем осаждаются на<br />
соответствующ<strong>и</strong>м образом установленную подложку.<br />
Особые пр<strong>и</strong>мечан<strong>и</strong>я:<br />
а) табл<strong>и</strong>ца относ<strong>и</strong>тся только к тр<strong>и</strong>одному, магнетронному <strong>и</strong>л<strong>и</strong> реакц<strong>и</strong>онному осажден<strong>и</strong>ю<br />
распылен<strong>и</strong>ем, которое <strong>и</strong>спользуется для увел<strong>и</strong>чен<strong>и</strong>я адгез<strong>и</strong><strong>и</strong> матер<strong>и</strong>ала покрыт<strong>и</strong>я <strong>и</strong> скорост<strong>и</strong><br />
осажден<strong>и</strong>я, а также к рад<strong>и</strong>очастотному расш<strong>и</strong>рен<strong>и</strong>ю процесса, что позволяет <strong>и</strong>спарять<br />
неметалл<strong>и</strong>ческ<strong>и</strong>е матер<strong>и</strong>алы;<br />
б) для акт<strong>и</strong>вац<strong>и</strong><strong>и</strong> процесса осажден<strong>и</strong>я могут быть <strong>и</strong>спользованы н<strong>и</strong>зкоэнергет<strong>и</strong>ческ<strong>и</strong>е <strong>и</strong>онные<br />
пучк<strong>и</strong> (менее 5 КэВ).<br />
7. Ионная <strong>и</strong>мплантац<strong>и</strong>я - процесс мод<strong>и</strong>ф<strong>и</strong>кац<strong>и</strong><strong>и</strong> поверхност<strong>и</strong>, когда лег<strong>и</strong>рующ<strong>и</strong>й матер<strong>и</strong>ал <strong>и</strong>он<strong>и</strong>з<strong>и</strong>руется,<br />
ускоряется в электр<strong>и</strong>ческом поле <strong>и</strong> <strong>и</strong>мплант<strong>и</strong>руется в пр<strong>и</strong>поверхностный слой<br />
подложк<strong>и</strong>. Это определен<strong>и</strong>е включает также процессы, в которых <strong>и</strong>онная <strong>и</strong>мплантац<strong>и</strong>я про<strong>и</strong>звод<strong>и</strong>тся<br />
одновременно с ф<strong>и</strong>з<strong>и</strong>ческ<strong>и</strong>м осажден<strong>и</strong>ем <strong>и</strong>з паровой фазы, полученной нагревом<br />
электронным пучком, <strong>и</strong>л<strong>и</strong> с осажден<strong>и</strong>ем распылен<strong>и</strong>ем.<br />
Некоторые пояснен<strong>и</strong>я к табл<strong>и</strong>це.<br />
Следует пон<strong>и</strong>мать, что следующая техн<strong>и</strong>ческая <strong>и</strong>нформац<strong>и</strong>я, сопровождающая табл<strong>и</strong>цу, должна <strong>и</strong>спользоваться<br />
пр<strong>и</strong> необход<strong>и</strong>мост<strong>и</strong>:<br />
1. Н<strong>и</strong>жеследующ<strong>и</strong>е технолог<strong>и</strong><strong>и</strong> предвар<strong>и</strong>тельной обработк<strong>и</strong> подложек, указанных в табл<strong>и</strong>це:<br />
1.1. Параметры процесса снят<strong>и</strong>я покрыт<strong>и</strong>я х<strong>и</strong>м<strong>и</strong>ческ<strong>и</strong>м<strong>и</strong> методам<strong>и</strong> в соответствующей ванне:<br />
1.1.1. Состав раствора:<br />
1.1.1.1. Для удален<strong>и</strong>я старых <strong>и</strong>л<strong>и</strong> поврежденных покрыт<strong>и</strong>й, продуктов корроз<strong>и</strong><strong>и</strong> <strong>и</strong>л<strong>и</strong> <strong>и</strong>нородных<br />
отложен<strong>и</strong>й;<br />
1.1.1.2. Для пр<strong>и</strong>готовлен<strong>и</strong>я новых подложек;<br />
1.1.2. Время обработк<strong>и</strong>;<br />
1.1.3. Температура ванны;<br />
1.1.4. Ч<strong>и</strong>сло <strong>и</strong> последовательность промывочных ц<strong>и</strong>клов;<br />
1.2. В<strong>и</strong>зуальные <strong>и</strong> макроскоп<strong>и</strong>ческ<strong>и</strong>е кр<strong>и</strong>тер<strong>и</strong><strong>и</strong> для определен<strong>и</strong>я пр<strong>и</strong>емлемост<strong>и</strong> ч<strong>и</strong>стоты подложк<strong>и</strong>;<br />
1.3. Параметры ц<strong>и</strong>кла термообработк<strong>и</strong>:<br />
1.3.1. Атмосферные параметры:<br />
1.3.1.1. Состав атмосферы;<br />
1.3.1.2. Давлен<strong>и</strong>е;<br />
1.3.2. Температура термообработк<strong>и</strong>;<br />
1.3.3. Время термообработк<strong>и</strong>;<br />
1.4. Параметры процесса подготовк<strong>и</strong> поверхност<strong>и</strong> подложк<strong>и</strong>:<br />
1.4.1. Параметры пескоструйной обработк<strong>и</strong>:<br />
1.4.1.1. Состав крошк<strong>и</strong>, дроб<strong>и</strong>;<br />
1.4.1.2. Размеры <strong>и</strong> форма крошк<strong>и</strong>, дроб<strong>и</strong>;<br />
1.4.1.3. Скорость крошк<strong>и</strong>;<br />
1.4.2. Время <strong>и</strong> последовательность ц<strong>и</strong>клов оч<strong>и</strong>стк<strong>и</strong> после пескоструйной оч<strong>и</strong>стк<strong>и</strong>;<br />
1.4.3. Параметры ф<strong>и</strong>н<strong>и</strong>шной обработк<strong>и</strong> поверхност<strong>и</strong>;<br />
1.4.4. Пр<strong>и</strong>менен<strong>и</strong>е связующ<strong>и</strong>х, способствующ<strong>и</strong>х адгез<strong>и</strong><strong>и</strong>;<br />
1.5. Параметры маск<strong>и</strong>:<br />
1.5.1. Матер<strong>и</strong>ал маск<strong>и</strong>;<br />
1.5.2. Расположен<strong>и</strong>е маск<strong>и</strong>.<br />
2. Н<strong>и</strong>жеследующ<strong>и</strong>е технолог<strong>и</strong><strong>и</strong> контроля качества технолог<strong>и</strong>ческ<strong>и</strong>х параметров, <strong>и</strong>спользуемые<br />
для оценк<strong>и</strong> покрыт<strong>и</strong>я <strong>и</strong> процессов, указанных в табл<strong>и</strong>це:<br />
2.1. Параметры атмосферы:<br />
2.1.1. Состав;<br />
ДН (05) Л<strong>и</strong>ст 73 <strong>и</strong>з 286
Change language