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Die NTB stillt Wissenshunger

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PWO Institut für Produktionsmesstechnik, Werkstoffe und Optik<br />

In-Prozessmesstechnik Interferometrie mit digitaler<br />

Streifenauswertung<br />

Ziel dieser Bachelorarbeit war das Aufrüsten und Optimieren eines visuel-<br />

len Interferometers, um digitale Streifenauswertung ausführen zu können.<br />

Dazu wird das Interferogramm auf einer CCD-Kamera abgebildet. Anhand<br />

der Grauwerte der Kamerapixel lässt sich durch die räumliche Phasenshift-<br />

Methode (engl. spatial phaseshifting) die Oberflächenform des Prüflings rekonstruieren.<br />

Durch eine umfassende Marktrecherche wurden über zwanzig<br />

unterschiedliche Softwarepakete gefunden, die eine digitale Streifenauswertung<br />

ermöglichen. Daraus wurden die vier besten Softwarepakete ausgewählt,<br />

welche im Detail auf unterschiedliche Beurteilungskriterien untersucht<br />

wurden. <strong>Die</strong> Beurteilung der Genauigkeit, Präzision und Robustheit der einzelnen<br />

Softwaren wurde anhand der ermittelten Daten nach der DoE-Methode<br />

(Design of Experiment) gefällt. Auf Basis der ermittelten Daten wurde gemeinsam<br />

mit dem Industriepartner eine Software ausgewählt und implementiert.<br />

Vergleichsmessungen zwischen dem damit ausgrüsteten Interferometer<br />

und einem kommerziellen<br />

System zeigten,<br />

dass die Genauigkeit<br />

des Systems bei einer<br />

Messwellenlänge von<br />

546.07 nm +/- 55 nm<br />

beträgt.<br />

Diplomand(en) Rexhep Halimi<br />

Dozent(en) Prof. Dr. Andreas Ettemeyer, Prof. Dr. Carlo Bach<br />

Partner SwissOptic, Heerbrugg<br />

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