Modulhandbuch - Technische Fakultät - Albert-Ludwigs-Universität ...

Modul / Module
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Modulhandbuch B.Sc. ESE – MST Bauelemente, Aktorik, Sensorik
MST Bauelemente, Aktorik, Sensorik
Fachbereich:
Department
Modulverantwortlicher:
Responsible person
Lehrveranstaltungstyp:
Type of course
Voraussetzungen:
Preconditions
Semester lt Studienplan:
Term
SWS:
Semester week hours
Arbeitsaufwand:
Workload
Lernziele / Educational objectives
Mikrosystemtechnik Spezialbereich:
Special field
MST Grundlagen
Prof. U. Wallrabe,
Prof. H. Reinecke
Modultyp:
Module Type Pflichtmodul
Vorlesung
Sprache:
Language
deutsch
empfohlen: Grundvorlesungen in Physik, Elektrotechnik, MST
Technologien & Prozesse
3
ECTS-Punkte:
ECTS-points
3
2 V
Turnus:
Regular cycle
jedes Wintersemester
90 h/Semester (Vorlesung 30 h, Eigenarbeit 58 h,
Kompetenznachweis 2 h)
Vorstellung der wichtigsten und populärsten mikrosystemtechnischen Bauelemente und
Systeme.
Lehrinhalt / Content of teaching
In der Vorlesung werden die wichtigsten und populärsten Systeme und Bauelemente der
Mikrosystemtechnik vorgestellt. Es wird auf die Funktionsweise, die Fertigung und die
Anwendung eingegangen.
Ziel ist es, den Studierenden die Möglichkeiten aber auch die Einschränkungen, die sich aus
den mikrotechnischen Fertigungsmethoden ergeben, zu veranschaulichen. Immer
wiederkehrende Designs und Tricks werden darum ebenfalls gezeigt.
Themen:
� Elektrostatische Aktoren
� Biegebalken
� Motoren/Getriebe/Zahnräder
� Optical MEMS
� Spektrometer
� Tastspitzen
� Hallsensoren
RF-MEMS
Studien- und Prüfungsleistungen / Exam requirements
Klausur im Prüfungszeitraum
Literatur / Literature
Begleitend zur Vorlesung wird ein Folien-Skript zur Verfügung gestellt.