Wir in Sachsen 2012 - Wirtschaftsjournal

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U N T E R N E H M E N & P R O D U K T E
Silicon Saxony – 450mm-Technologie für
einen starken Mikroelektronikstandort
Innovationen bilden die Grundlage für die moderne Halbleiterindustrie.
Sie sind der Motor des ökonomischen Fortschritts
– und einer der wichtigsten Gründe dafür, dass
sich die Halbleiterindustrie im Freistaat Sachsen auf dem
stark umkämpften Markt erfolgreich behaupten kann.
„Silicon Saxony“, die Region zwischen Dresden, Freiberg
und Chemnitz, ist Europas größter Mikroelektronikstandort
und gehört zu einem der innovativsten Cluster weltweit.
Hier findet sich eine einzigartige Ballung von Unternehmen
und Forschungsinstituten mit Know-how in den
Bereichen Mikro- und Nanoelektronik, Telekommunikationstechnologie,
Photovoltaik, IT und Informationstechnik,
energieeffiziente Systeme, Smart Systems und vernetzte
Sensorik sowie organischer und gedruckter Elektronik.
Jeder zweite in Europa produzierte Chip trägt den
Aufdruck „Made in Saxony“. Um ihre starke Position zu
festigen und weiter auszubauen, muss die sächsische Halbleiterindustrie
mit den Marktentwicklungen Schritt halten.
Dazu gehört auch die Umstellung der Produktion auf
größere Wafer-Durchmesser von 450mm.
Gemeinsam mit dem Sächsischen Staatsministerium
für Wissenschaft und Kunst hat der Silicon Saxony e. V.
einen neuen „Arbeitskreis 450mm“ ins Leben gerufen.
Die Gründungsmitglieder, u. a. AIS Automation GmbH,
Siltronic AG, Roth & Rau Ortner GmbH, Vistec Electronic
Beam GmbH, Brooks Automation GmbH, Freiberg Instruments
GmbH, HSEB Dresden GmbH sowie das Fraunhofer-
Center Nanoelektronische Technologien (CNT) und ein
Informatiklehrstuhl an der TU Dresden, wollen dort ihre
Kompetenzen bündeln und sich gemeinsam den Herausforderungen
der 450mm-Technologie stellen: Für die
größeren Wafer braucht es neue Materialien, neue Anlagen
und moderne Automatisierungslösungen.
„450mm-Produktionslinien werden Realität und bedeuten
eine Chance für Zulieferunternehmen in Sachsen. Die
Beteiligung an der Entwicklung von 450mm-Technologien
sichert auch in Zukunft die Spitzenstellung sächsischer
Unternehmen, wie HAP, Siltronic und der AIS Automation.
Die Resultate dieser Entwicklungen werden in Zukunft
erfolgreich in 450mm-Linien eingesetzt werden. Die dafür
notwendigen Investitionen finden ebenfalls Verwendung
als Downgrade in bereits existierende 200mm/300mm-
Produktionslinien. Die Teilnahme an dieser Entwicklung
sichert auch in Zukunft stabile Arbeitsplätze in der Zulieferindustrie
der Halbleitertechnik“, sagt Arbeitskreis-
Leiter und Geschäftsführer der AIS Automation Eckhard
WIR in SACHSEN 2012
Schöbel. Ähnlich sieht Burkhard Stegemann (HSEB Dresden
GmbH) das Potential des Freistaates: „Technologisch
ist Silicon Saxony bereits auf Weltniveau. Wir können aber
auch bei der Einführung neuer Grundlagen federführend
sein – die letzte Optimierung der Wafergröße auf 300mm
hatte ihren Beginn schließlich ebenfalls in Dresden.“
Die hiesigen Forschungseinrichtungen verfügen bereits
über eine ausgeprägte Technologieexpertise: „Unsere Stärken
liegen im Moment im Bereich der 300mm-Technologie.
Das wollen wir für die Weiterentwicklung von Verfahren
auf 450mm nutzen“, sagt Prof. Dr. Peter Kücher,
Leiter des Fraunhofer CNT. Um Sachsen und Europa langfristig
als wichtigen Mikroelektronikstandort zu stärken,
müssen die Forschungsergebnisse zügig in Produkte umgesetzt
werden. Auch darauf sind die ansässigen Unternehmen
vorbereitet. „Der größere Waferdurchmesser wird
eine noch höhere Genauigkeit der Masken erfordern. Dafür
sind wir gerüstet“, sagt zum Beispiel Barbara Lauche vom
Photomasken-Hersteller Photronics.
„Wichtigstes Ziel ist es zunächst interessierte Partner
für den nächsten Technologiesprung in der Halbleiterproduktion
zusammenzubringen, Kooperationen anzustoßen
und um notwendige Unterstützung aus Wissenschaft, Wirtschaft
und Politik zu werben. Der Arbeitskreis ist natürlich
offen für neue Mitglieder. Silicon Saxony unterstützt
seine Mitglieder mit dieser Plattform aktiv auf dem Weg
in die Zukunft“, so Heinz Martin Esser, Vorstand des Branchenverbandes,
abschließend. (fh)
www.silicon-saxony.de
Photo: © M. Drescher/ Fraunhofer CNT