MEMS – Herstellung, Bauformen, Realisierungen
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<strong>MEMS</strong> <strong>–</strong> Mikroelektromechanische Systeme<br />
2.3.3 Dry Plasma Etching (Fortsetzung)<br />
Wie bekomme ich nun aber schöne gerade Wände?<br />
Lösung: Black Silicon Method<br />
Mikrograss<br />
zu viel<br />
O 2<br />
zu wenig<br />
Farbe/Oberfläche<br />
grau<br />
glatt<br />
schwarz<br />
Ralf Drescher - 24.06.2003 - Seminar <strong>MEMS</strong> 22 / 41
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