MEMS – Herstellung, Bauformen, Realisierungen
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<strong>MEMS</strong> <strong>–</strong> Mikroelektromechanische Systeme<br />
3.3 Feder-Masse-Systeme<br />
Prinzip:<br />
F=k*x F=m*a => a=k*x/m<br />
m<br />
x<br />
<strong>Bauformen</strong>:<br />
Piezowiderstand<br />
m<br />
Wir sehen: Unter optimalen<br />
Bedingungen ist die Beschleunigung,<br />
die die Masse m erfährt proportional<br />
zur Verschiebung x.<br />
Hauptanwendungsgebiet sind<br />
Beschleunigungssensoren.<br />
m<br />
C<br />
Ralf Drescher - 24.06.2003 - Seminar <strong>MEMS</strong> 30 / 41
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