MEMS – Herstellung, Bauformen, Realisierungen
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<strong>MEMS</strong> <strong>–</strong> Mikroelektromechanische Systeme<br />
2.1.2 LIGA <strong>–</strong> Lithographie, Galvanik, Abformung (Fortsetzung)<br />
Vorteile:<br />
• Sehr hohes Aspektverhältnis - je nach Struktur bis zu 50 <strong>–</strong> 500! und eine<br />
Oberflächenqualität im Submikrometerbereich<br />
• Strukturhöhen bis zu 3mm<br />
• Grosse Materialpalette: Kunststoffe, Metalle, Keramiken<br />
Nachteile:<br />
• Zwingend: Direktbelichtung mit 1:1 Maske<br />
• <strong>Herstellung</strong> von 1:1 Masken ist sehr teuer<br />
• Erst ab sehr grossen Stückzahlen wirtschaftlich<br />
Ralf Drescher - 24.06.2003 - Seminar <strong>MEMS</strong> 8 / 41
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