MEMS – Herstellung, Bauformen, Realisierungen

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MEMS – Mikroelektromechanische Systeme Ende Ralf Drescher - 24.06.2003 - Seminar MEMS 40 / 41
MEMS – Mikroelektromechanische Systeme Literaturverzeichnis • „Mechanical Microsensors“ - Elwenspoek, Wiegerink • „Einführung in die Mikrosystemtechnik“ – Völklein, Zetterer • VLSI-Skript WS02/03 TI Uni Mannheim – Prof. Fischer • http://www.analog.com • http://hikwww1.fzk.de/pmt/arbeitsthemen/d_index_fertigung.html • http://www.oxfordlasers.com • http://www.ece.gatech.edu/research/labs/vc/theory/oxide.html • http://www.sandia.gov/1100/CVDwww/cvdinfo.htm • http://grover.mirc.gatech.edu/ • http://www.leb.e-technik.uni-erlangen.de/lehre/mm/html/deposition_sputter.htmRti • http://www.memsguide.com/MEMSequipments-Etchingprocess_dry_RIE_def.htm • Comparison of Bosch and cryogenic processes for patterning high aspect ratio features in silicon by Martin J. Walker - Oxford Instruments Plasma Technology • http://mitghmr.spd.louisville.edu/course98/pressuregen.html • Micromachined Mirrors by Robert Alan Conant, Berkeley 1993,2000 • http://www.joy-stick.net/reviews/gamepads/freestyl.htm • http://www.novasensor.com/ • http://www.devicelink.com/mem/archive/96/01/003.html Ralf Drescher - 24.06.2003 - Seminar MEMS 41 / 41
Seite 1 und 2: MEMS - Mikroelektromechanische Syst
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