MEMS – Herstellung, Bauformen, Realisierungen
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<strong>MEMS</strong> <strong>–</strong> Mikroelektromechanische Systeme<br />
3.2 Membrane<br />
Erster Ansatz zum Messen an einer<br />
Membran:<br />
Piezowiderstand<br />
Membran<br />
Kapazitive Messung:<br />
Membran<br />
Verbesserung: gleiche Membranlast,<br />
doppelte Widerstandsänderung:<br />
Piezowiderstand<br />
Membran<br />
Kondensatorplatten<br />
Hauptanwendungesgebiet für<br />
Membrane sind Kraft- und<br />
Drucksensoren (passiv) aber<br />
auch Mikropumpen (aktiv).<br />
Ralf Drescher - 24.06.2003 - Seminar <strong>MEMS</strong> 28 / 41
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