MEMS – Herstellung, Bauformen, Realisierungen
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<strong>MEMS</strong> <strong>–</strong> Mikroelektromechanische Systeme<br />
2.1.2 LIGA <strong>–</strong> Lithographie, Galvanik, Abformung<br />
Bei diesem im Forschungszentrum Karlsruhe entwickelten<br />
Verfahren wird eine relativ dicke Schicht röntgenempfindlichen<br />
Kunststoffs (meist PMMA = Plexiglas) auf<br />
einem Metallträger mit Hilfe von Röntgentiefenlithographie<br />
(1:1 Maske!) belichtet.<br />
Die nach dem Ätzen entstandene Form<br />
Durch den metallischen Träger besteht nun die Möglichkeit<br />
an diesen galvanisch Metall anzulagern.<br />
Ralf Drescher - 24.06.2003 - Seminar <strong>MEMS</strong> 6 / 41
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