MEMS – Herstellung, Bauformen, Realisierungen
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<strong>MEMS</strong> <strong>–</strong> Mikroelektromechanische Systeme<br />
4.2 Drucksensor<br />
Poly-Si<br />
Dehnungsstreifen<br />
Nitride<br />
Membran<br />
Anschluss<br />
(Metall)<br />
Vakuum/Referezdruck<br />
Poly-Si<br />
Dehnungsstreifen<br />
Nitride<br />
Membran<br />
Ralf Drescher - 24.06.2003 - Seminar <strong>MEMS</strong> 36 / 41
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