MEMS – Herstellung, Bauformen, Realisierungen
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<strong>MEMS</strong> <strong>–</strong> Mikroelektromechanische Systeme<br />
4.1 Beschleunigungssensor (Lösung)<br />
Bei vorangegangener Struktur handelt es sich um den 2-Achsen-<br />
Beschleunigunssensor ADXL202(E) der Firma Analog Devices.<br />
Ein paar technische Daten:<br />
• Messbereich: ±2g<br />
• Auflösung: 5mg<br />
• Betriebsspannung: 3V <strong>–</strong> 5,25V<br />
• Stromaufnahme:
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