MEMS – Herstellung, Bauformen, Realisierungen
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<strong>MEMS</strong> <strong>–</strong> Mikroelektromechanische Systeme<br />
2.3.4 Surface Micromachining <strong>–</strong> Sacrificial Layers (Fortsetzung)<br />
Im Zusammenhang mit den Opferschichten gibt es<br />
eine Interessante Anwendung von CVD:<br />
Geschlossene Hohlräume<br />
Wie wir gerade eben gelernt haben, erzeugt man<br />
Hohlräume mit Opferschichten. Möchte man aber<br />
eine geschlossene Struktur um die Opferschicht<br />
haben, hat man das Problem, dass man die<br />
Opferschicht nicht mehr wegätzen kann...<br />
Lösung:<br />
1. feine Löcher lassen, durch die die Ätzflüssigkeit<br />
eindringen kann.<br />
2. Verschliessen der Löcher nach dem Ätzen mit<br />
CVD<br />
Ralf Drescher - 24.06.2003 - Seminar <strong>MEMS</strong> 24 / 41
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