Dissertation_M_Fischer.pdf - OPUS - Universität Augsburg
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5.2.3 Entstehung intrinsischer Spannungen beim Wachstum epitaktischer<br />
Diamantschichten 77<br />
Abbildung 5.33 20 µm dicke druckverspannte Diamantschicht auf einem (001)-HPHT-Ib-Substrat, auf<br />
dem Defekte durch eine Vorbehandlung mit einem spannungsunterstütztem Wachstumsschritt (siehe Text)<br />
generiert wurden:<br />
a) ∆ω-2θ-Map des Diamant (311)-Reflexes bei χ=72.45 ◦ in symmetrischer Skewgeometrie; b) Schnitt bei<br />
∆ω=0 ◦ ; c) Schnitt bei 2θ=91.49 ◦ ; d) Schnitt bei 2θ=91.75 ◦ ; e) RS-Map des Diamant (004)-Reflexes bei<br />
χ=0 ◦ ; f) Schnitt bei q ‖ =0 Å −1 ; g) Schnitt bei q⊥=11.209 Å −1 ; h) Schnitt bei q⊥=11.215 Å −1
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