2. Struktur und Profillinien - ifw Jena
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7. Ausgewählte Forschungs- <strong>und</strong><br />
Entwicklungsergebnisse<br />
7.14<br />
Produktionstechniken für<br />
anwendungsspezifische<br />
Mikrosensoren <strong>und</strong> ihre<br />
Integration in elektronische<br />
Komponenten<br />
Ansprechpartner:<br />
Dr.-Ing. T. Schroeter<br />
E-Mail: tschroeter@<strong>ifw</strong>-jena.de<br />
Projektträger:<br />
BMBF / Forschungszentrum Karlsruhe -<br />
Projektträgerschaft Produktion <strong>und</strong> Fertigungstechnik<br />
Förder-Nr.: 02PP2310<br />
Projektpartner:<br />
ASG, Weinheim / D<br />
APS, Aachen / D<br />
ADZ, Dresden / D<br />
CSIC, Madrid / E<br />
EMH Elgama, Vilnius /Lt<br />
IPM RAS, Moskau / Ru<br />
KERABEN, Nules / E<br />
M+S, <strong>Jena</strong> / D<br />
MNTK Robot, Moskau / Ru<br />
Monition, Nottinghamshire / GB<br />
Sensitec, Wetzlar / D<br />
Siemens, München / D<br />
TU Dresden, Dresden / D<br />
SGT, Wehrheim / D<br />
Vitcon, <strong>Jena</strong> / D<br />
XENON, Dresden / D<br />
Aufgabe<br />
Mit dem EUREKA Verb<strong>und</strong>-Projekt<br />
PAMIS wurde das Ziel verfolgt, Potentiale<br />
<strong>und</strong> Möglichkeiten der Europäischen<br />
Entwicklungskooperation im<br />
Bereich der Mikrosensorik aufzuzeigen<br />
<strong>und</strong> in konkrete Projekte umzusetzen.<br />
Durch Schaffung von Vorbildern<br />
(best practice) sollte die Produktion<br />
von Mikrosensoren entlang<br />
geschlossener Wertschöpfungsketten<br />
auf Europäischer Ebene vor allem<br />
in klein- <strong>und</strong> mittelständischen<br />
Unternehmen praktisch demonstriert<br />
werden. Einen Schwerpunkt bildete<br />
die Bearbeitung von Themen zu<br />
konkreten Produkten der Mikrosensorik:<br />
• Beschleunigungssensoren,<br />
• Drucksensoren,<br />
• Dehnungssensoren<br />
• Stromsensoren.<br />
Darüber hinaus sollten übergreifende<br />
Themenstellungen vor allem zur<br />
Produktion von Mikrosensoren bearbeitet<br />
werden:<br />
• Produktionsorganisation <strong>und</strong> –simulation,<br />
• Einsatz von moderner Produktions-<br />
<strong>und</strong> Automatisierungstechnik,<br />
• Technologieentwicklung,<br />
• Qualitätsmanagement,<br />
• Anwendung <strong>und</strong> Intergration der<br />
Sensoren in Systeme<br />
• Qualitätsmanagement<br />
Das IFW hatte hierbei folgende Teilaufgaben<br />
zu lösen:<br />
• Koordination des Gesamtprojektes,<br />
• Bearbeitung des Teilthemas Beschleunigungssensore<br />
auf Siliziumbasis,<br />
• Bearbeitung des übergreifenden<br />
Themas Qualitätsmanagement<br />
Ergebnisse<br />
Durch die Arbeit eines Konsortiums<br />
von insgesamt 17 Europäischen<br />
Partnern, vorwiegend aus kleinen<br />
<strong>und</strong> mittelständischen Industriebetrieben<br />
sowie Instituten, ist es gelungen,<br />
die Europäische Kooperation<br />
40<br />
bei der Entwicklung <strong>und</strong> Produktion<br />
von Mikrosensoren entlang geschlossener<br />
Wertschöpfungskette<br />
zu demonstrieren.<br />
Durch das IFW wurden, in Zusammenarbeit<br />
mit den Europäischen<br />
Verb<strong>und</strong>partnern, unter anderem<br />
folgende Leistungen erbracht:<br />
• Vorbereitung <strong>und</strong> Durchführung<br />
von insgesamt 8. Internationalen<br />
Projektmeetings in<br />
Deutschland <strong>und</strong> Europa,<br />
• Einberufung eines Industriearbeitskreises,<br />
• Präsentation des PAMIS-<br />
Projektes bei Verbänden, Fachgremien,<br />
Messen u.s.w.,<br />
• Weiterentwicklung der Fertigungsprozesse<br />
<strong>und</strong> Technologien<br />
zur Herstellung von Beschleunigungssensorchips-<br />
bzw.<br />
Sensoren am IFW <strong>und</strong> beim<br />
Unterauftragnehmer M+S GmbH<br />
(u.a. Schaffung einer CAD-<br />
Lösung zur Dimensionierung,<br />
Optimierung von Montage- <strong>und</strong><br />
Fügeprozessen, Konzepterarbeitung<br />
für einen ASIC zur<br />
Signalausewertung),<br />
• Spezifikation prozessorientierter<br />
Qualitätsmanagement- <strong>und</strong><br />
Qualitätssicherungstechniken<br />
für neuartige Produktionstechniken<br />
zur Sensorherstellung in<br />
KMU, unter besonderer Berücksichtigung<br />
der Prozeßautomatisierung<br />
<strong>und</strong> der Personalqualifizierung<br />
An dieser Stelle sei ausserdem auf<br />
die geplante Buchveröffentlichung<br />
„Produktionstechniken für Sensoren“<br />
verwiesen, in welcher allgemeine<br />
Themen der Mikrosensorik<br />
behandelt <strong>und</strong> die Projektergebnisse<br />
detailliert dargestellt werden<br />
sollen.<br />
Anwendungen<br />
Durch die Komplexität des Projektes<br />
ergeben sich äußerst vielseitige<br />
Möglichkeiten der Anwendung der<br />
Projektergebnisse auf die Herstellung<br />
von Mikrosensoren in kleinen<br />
<strong>und</strong> mittelständischen Unternehmen.