2. Struktur und Profillinien - ifw Jena
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Profil:<br />
<strong>2.</strong> <strong>Struktur</strong> <strong>und</strong> <strong>Profillinien</strong><br />
Mikrotechnik<br />
Der Bereich Mikrotechnik / Applikationszentrum<br />
Mikrotechnik amt<br />
am IFW beschäftigt sich mit Produkt-<br />
<strong>und</strong> Technologieentwicklungen<br />
sowie Dienstleistungen<br />
auf folgenden Gebieten:<br />
• Dickschichttechnik,<br />
• Dünnschichttechnik<br />
• Mikrostrukturierung,<br />
• Mikrofügeverfahren<br />
• Produkte <strong>und</strong> Herstellungsverfahren<br />
der Mikrosensorik (Beschleunigung,<br />
Neigung, Navigation,<br />
Schwingungsanalyse,<br />
Volumenstrom, Druck, Kraft)<br />
Für diese Anwendungsfelder<br />
können F&E-Arbeiten, Applikationsuntersuchungen<br />
<strong>und</strong> Dienstleistungen<br />
angeboten werden.<br />
Für experimentelle Untersuchungen<br />
stehen am IFW / amt moderne<br />
Geräte <strong>und</strong> Ausrüstungen zur<br />
Verfügung, unter anderem:<br />
• Mask Aligner<br />
• Dickschichttechnik,<br />
• LP-CVD-Anlage für Waferbeschichtungen<br />
• DC/HF Sputteranlage<br />
• RIE Ätzanlage<br />
• Nasschemische Ätzprozesse<br />
• Elektronenstrahlverdampfungsanlage<br />
• Anodische Bondanlagen<br />
• Anlage der Firma ATV zum<br />
Löten unter Schutzgas <strong>und</strong><br />
Vakuum bis 10 -7 bar<br />
• Diffusionsbondanlage<br />
• Dickfilm-Hybrid-Fertigung<br />
• Chip- <strong>und</strong> Drahtbondanlagen<br />
• Präzisions-Justierplatz <strong>und</strong><br />
Präzisionsklebeplatz<br />
8<br />
Transfer:<br />
Wir bieten unsere Leistungen in<br />
folgender Form an:<br />
• Machbarkeitsstudien <strong>und</strong><br />
Durchführung von F&E Arbeiten<br />
• Prototyp- <strong>und</strong> Kleinserienfertigung<br />
• Technologie- <strong>und</strong> Systementwicklung<br />
sowie Lizenzvergaben<br />
• Beratung <strong>und</strong> Erprobung zu<br />
Technologien <strong>und</strong> Produkten
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