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EPP 5-6.2020

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Bild 4: Punktgrößendurchmesser<br />

in mm,<br />

Verteilung über<br />

4.000 Dosierpunkte.<br />

Bild 3: Ausschnitt von 4.000 Dosierpunkte, erstellt mit der NSW-Squeezing Pump.<br />

Foto: Kummer<br />

Foto: Kummer<br />

Bild 5: Dosierpunktmessung 80 μm.<br />

Foto: Kummer<br />

Bild 6: Ausschnitt von 400 Linien mit 80 μm Bahnbreite.<br />

Foto: Kummer<br />

eine flexible Quetschkammer das Material aus einer zuvor gelagerten<br />

Kartusche erhält und die Lotpaste deformationsfrei und präzise<br />

auf die Wafer Oberfläche dosiert. NSW hat die Anforderungen in<br />

den Versuchen für die Squeezing Pump noch weiter verschärft und<br />

eine Dot Size von 80 μm als Vorgabe gesetzt. (Bild 2)<br />

Die anschließende Vermessung der einzelnen Punkte hat ergeben,<br />

dass diese in einem Toleranzbereich von nur ±8 μm aufgetragen<br />

werden konnten.<br />

• Kleinster Dosierpunkt: 72 μm<br />

• Größter Dosierpunkt: 84 μm<br />

Das Chart zeigt die Punktgrößenverteilung über 4.000 Punkte, dabei<br />

ist zu sehen, dass der Löwenanteil der Dosierpunkte bei einem<br />

Durchmesser von 80 μm liegt. (Bild 3 + 4)<br />

Das Ergebnis der Versuchsreihe zeigt, dass es mit der NSW-Squeezing<br />

Pump möglich ist, Lotpasten reproduzierbar mit einer Punktgröße<br />

von 80 μm zu dosieren. (Bild 5) Es wurde außerdem eine weitere<br />

Versuchsreihe mit der Pumpe und Lotpaste durchgeführt. In dieser<br />

wurden 400 Linien mit jeweils 80 μm Bahnbreite dosiert. (Bild 6 + 7)<br />

Das Resultat zeigt dieselbe Reproduzierbarkeit wie bei der Dosierung<br />

von Punkten. Die gesamte Studie bzw. weiterführende Informationen<br />

können beim Unternehmen angefordert werden.<br />

www.jpkummer.com<br />

Bild 7: 80 μm Bahnbreite (vergrößert).<br />

kurz & bündig<br />

Der Beitrag erläutert die auf den Dosierprozess Einfluss<br />

nehmende Eigenschaften von Lotpasten, stellt bestehende<br />

Dosiermethoden vor und präsentiert eine geeignete Technologie,<br />

mit welcher es in Zukunft auch möglich sein wird,<br />

Lotpasten mit einer Punktgröße von 50 μm zu dosieren.<br />

Foto: Kummer<br />

<strong>EPP</strong> Mai/Juni 2020 31

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