EPP 5-6.2020
Erfolgreiche ePaper selbst erstellen
Machen Sie aus Ihren PDF Publikationen ein blätterbares Flipbook mit unserer einzigartigen Google optimierten e-Paper Software.
Bild 4: Punktgrößendurchmesser<br />
in mm,<br />
Verteilung über<br />
4.000 Dosierpunkte.<br />
Bild 3: Ausschnitt von 4.000 Dosierpunkte, erstellt mit der NSW-Squeezing Pump.<br />
Foto: Kummer<br />
Foto: Kummer<br />
Bild 5: Dosierpunktmessung 80 μm.<br />
Foto: Kummer<br />
Bild 6: Ausschnitt von 400 Linien mit 80 μm Bahnbreite.<br />
Foto: Kummer<br />
eine flexible Quetschkammer das Material aus einer zuvor gelagerten<br />
Kartusche erhält und die Lotpaste deformationsfrei und präzise<br />
auf die Wafer Oberfläche dosiert. NSW hat die Anforderungen in<br />
den Versuchen für die Squeezing Pump noch weiter verschärft und<br />
eine Dot Size von 80 μm als Vorgabe gesetzt. (Bild 2)<br />
Die anschließende Vermessung der einzelnen Punkte hat ergeben,<br />
dass diese in einem Toleranzbereich von nur ±8 μm aufgetragen<br />
werden konnten.<br />
• Kleinster Dosierpunkt: 72 μm<br />
• Größter Dosierpunkt: 84 μm<br />
Das Chart zeigt die Punktgrößenverteilung über 4.000 Punkte, dabei<br />
ist zu sehen, dass der Löwenanteil der Dosierpunkte bei einem<br />
Durchmesser von 80 μm liegt. (Bild 3 + 4)<br />
Das Ergebnis der Versuchsreihe zeigt, dass es mit der NSW-Squeezing<br />
Pump möglich ist, Lotpasten reproduzierbar mit einer Punktgröße<br />
von 80 μm zu dosieren. (Bild 5) Es wurde außerdem eine weitere<br />
Versuchsreihe mit der Pumpe und Lotpaste durchgeführt. In dieser<br />
wurden 400 Linien mit jeweils 80 μm Bahnbreite dosiert. (Bild 6 + 7)<br />
Das Resultat zeigt dieselbe Reproduzierbarkeit wie bei der Dosierung<br />
von Punkten. Die gesamte Studie bzw. weiterführende Informationen<br />
können beim Unternehmen angefordert werden.<br />
www.jpkummer.com<br />
Bild 7: 80 μm Bahnbreite (vergrößert).<br />
kurz & bündig<br />
Der Beitrag erläutert die auf den Dosierprozess Einfluss<br />
nehmende Eigenschaften von Lotpasten, stellt bestehende<br />
Dosiermethoden vor und präsentiert eine geeignete Technologie,<br />
mit welcher es in Zukunft auch möglich sein wird,<br />
Lotpasten mit einer Punktgröße von 50 μm zu dosieren.<br />
Foto: Kummer<br />
<strong>EPP</strong> Mai/Juni 2020 31