4 Optische Eigenschaften des strukturier - JUWEL ...
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4. <strong>Optische</strong> <strong>Eigenschaften</strong> <strong>des</strong> stukturierten TCO und der Solarzellen<br />
5 sec<br />
15 sec<br />
25 sec<br />
50 sec<br />
Abbildung 4.1: AFM-Bilder der Oberflächenmorphologie verschieden geätzter ZnO-Substrate. Die ZnO-<br />
Schichten wurden mit verschiedenen Ätzzeiten 5s, 15s, 25s und 50s in 0,5 % HCL geätzt. (Z-Skalierung:<br />
1 Einheit =1 µm).<br />
36
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