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4 Optische Eigenschaften des strukturier - JUWEL ...

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4. <strong>Optische</strong> <strong>Eigenschaften</strong> <strong>des</strong> stukturierten TCO und der Solarzellen<br />

In Abbildung 4.5 ist die diffuse Transmission der verschiedenen geätzten ZnO-Schichten dargestellt.<br />

Sowohl der spekulare als auch der diffuse Anteil verändert sich mit der Ätzzeit. Mit<br />

zunehmender Ätzzeit nimmt der spekulare Anteil <strong>des</strong> Lichts ab, während der diffuse Anteil<br />

<strong>des</strong> Lichts größer wird.<br />

Transmission (diffus)<br />

1,0<br />

0,9<br />

0,8<br />

0,7<br />

0,6<br />

Einstrahlung auf Glas<br />

0,5<br />

0,4<br />

0,3<br />

0,2<br />

0,1<br />

0,0<br />

Ätzzeit<br />

300 400 500 600 700 800 900 1000 1100 1200 1300<br />

Wellenlänge [nm]<br />

ZnO -5s geätzt<br />

ZnO -7s geätzt<br />

ZnO -15s geätzt<br />

ZnO -25s geätzt<br />

ZnO -50s geätzt<br />

Abbildung 4.5: Diffuse Transmission der verschiedenen geätzten ZnO-Schichten.<br />

In Abbildung 4.6 und Abbildung 4.7 ist die gemessene totale bzw. spekulare Reflexion der<br />

verschiedenen geätzten ZnO-Schichten dargestellt. Die berechnete diffuse Reflexion findet<br />

sich in Abbildung 4.8.<br />

Reflexion (total)<br />

0,25<br />

0,20<br />

0,15<br />

0,10<br />

0,05<br />

Einstrahlung auf TCO<br />

0,00<br />

300 400 500 600 700 800 900 1000 1100 1200 1300<br />

Wellenlänge (nm)<br />

Abbildung 4.6: Totale Reflexion der verschiedenen geätzten ZnO-Schichten.<br />

ZnO -5s geätzt<br />

ZnO -7s geätzt<br />

ZnO -15s geätzt<br />

ZnO -25s geätzt<br />

ZnO -50s geätzt<br />

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