4 Optische Eigenschaften des strukturier - JUWEL ...
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4. <strong>Optische</strong> <strong>Eigenschaften</strong> <strong>des</strong> stukturierten TCO und der Solarzellen<br />
In Abbildung 4.5 ist die diffuse Transmission der verschiedenen geätzten ZnO-Schichten dargestellt.<br />
Sowohl der spekulare als auch der diffuse Anteil verändert sich mit der Ätzzeit. Mit<br />
zunehmender Ätzzeit nimmt der spekulare Anteil <strong>des</strong> Lichts ab, während der diffuse Anteil<br />
<strong>des</strong> Lichts größer wird.<br />
Transmission (diffus)<br />
1,0<br />
0,9<br />
0,8<br />
0,7<br />
0,6<br />
Einstrahlung auf Glas<br />
0,5<br />
0,4<br />
0,3<br />
0,2<br />
0,1<br />
0,0<br />
Ätzzeit<br />
300 400 500 600 700 800 900 1000 1100 1200 1300<br />
Wellenlänge [nm]<br />
ZnO -5s geätzt<br />
ZnO -7s geätzt<br />
ZnO -15s geätzt<br />
ZnO -25s geätzt<br />
ZnO -50s geätzt<br />
Abbildung 4.5: Diffuse Transmission der verschiedenen geätzten ZnO-Schichten.<br />
In Abbildung 4.6 und Abbildung 4.7 ist die gemessene totale bzw. spekulare Reflexion der<br />
verschiedenen geätzten ZnO-Schichten dargestellt. Die berechnete diffuse Reflexion findet<br />
sich in Abbildung 4.8.<br />
Reflexion (total)<br />
0,25<br />
0,20<br />
0,15<br />
0,10<br />
0,05<br />
Einstrahlung auf TCO<br />
0,00<br />
300 400 500 600 700 800 900 1000 1100 1200 1300<br />
Wellenlänge (nm)<br />
Abbildung 4.6: Totale Reflexion der verschiedenen geätzten ZnO-Schichten.<br />
ZnO -5s geätzt<br />
ZnO -7s geätzt<br />
ZnO -15s geätzt<br />
ZnO -25s geätzt<br />
ZnO -50s geätzt<br />
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