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4 Optische Eigenschaften des strukturier - JUWEL ...

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5. <strong>Optische</strong> <strong>Eigenschaften</strong> <strong>des</strong> stukturierten TCO und der Solarzellen<br />

und einem statistisch rauen Substrat eingezeichnet.Letzteres wurde durch nasschemischen<br />

Ätzen der gesputterten ZnO-Schichten erzeugt. Dabei lassen sich die Solarzellen auf den geätzten<br />

Substraten zwischen den gestrichelten Linien gruppieren und sind deutlich von den<br />

Solarzellen auf den glatten Substraten getrennt.<br />

Strom j sc (mA/cm 2 )<br />

22<br />

21<br />

20<br />

19<br />

18<br />

17<br />

16<br />

15<br />

14<br />

Raues Substrat<br />

h=100nm<br />

Glattes Substrat<br />

h=300nm<br />

h=400nm<br />

13<br />

1,0 1,5 2,0 2,5 3,0 3,5 4,0<br />

Periode (µm)<br />

Abbildung 5.14: Kurzschlussstromdichten von µc-Si:H pin-Solarzellen auf unterschiedlichen Transmissionsgittern<br />

mit einer Stufenhöhe von 100 nm, 300 nm und 400nm unter AM 1.5 Beleuchtung.<br />

Strom j sc (mA/cm 2 )<br />

11<br />

10<br />

9<br />

8<br />

7<br />

6<br />

Raues Substrat<br />

h=100nm<br />

Glattes Substrat<br />

h=300nm<br />

h=400nm<br />

1,0 1,5 2,0 2,5 3,0 3,5 4,0<br />

Periode (µm)<br />

Abbildung 5.15: Kurzschlussstromdichten von µc-Si:H pin-Solarzellen auf unterschiedlichen Transmissionsgittern<br />

mit einer Stufenhöhe von 100 nm, 300 nm und 400nm unter (AM 1.5 + OG 590) Beleuchtung.<br />

86

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