4 Optische Eigenschaften des strukturier - JUWEL ...
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5. <strong>Optische</strong> <strong>Eigenschaften</strong> <strong>des</strong> stukturierten TCO und der Solarzellen<br />
Strom j sc (mA/cm 2 )<br />
3,1<br />
3,0<br />
2,9<br />
2,8<br />
2,7<br />
2,6<br />
2,5<br />
h=100nm<br />
h=400nm<br />
Glattes Substrat<br />
h=300nm<br />
Raues Substrat<br />
2,4<br />
1,0 1,5 2,0 2,5 3,0 3,5 4,0<br />
Periode (µm)<br />
Abbildung 5.16: Kurzschlussstromdichten von µc-Si:H pin-Solarzellen auf unterschiedlichen Transmissionsgittern<br />
mit einer Stufenhöhe von 100 nm, 300 nm und 400nm unter (AM 1.5 + BG 7) Beleuchtung.<br />
Die Kurzschlussstromwerte unter AM 1.5, (AM 1.5 + OG 590) sowie (AM 1.5 + BG 7)-<br />
Beleuchtung zeigen keine signifikanten Abhängigkeiten von der Periode. Lediglich bei der<br />
kleinsten Stufenhöhe von h = 100 nm ist unter rotem Licht tendenziell ein leichter Rückgang<br />
im Strom zu beobachten. Dagegen wächst der Strom sowohl unter weißem als auch unter rotem<br />
Licht deutlich mit einer Zunahme der Stufenhöhe von 100 nm auf 300 nm bzw. 400 nm<br />
an. Dieser Anstieg zeigt sich vor allem bei den größeren Perioden. Eine weitere Erhöhung <strong>des</strong><br />
Kurzschlussstromes mit der Vergrößerung der Stufenhöhe auf Werte > 400 nm wurde nicht<br />
beobachtet, da die Absorptionsverluste bei den Niedertemperatur-TCO-Substraten mit der<br />
Stufenhöhe steigen. Für Proben mit einer Stufenhöhe von 600 nm sinken die Kurzschlussstromwerte.<br />
Das Verhalten <strong>des</strong> Kurzschlussstroms als Funktion der Stufenhöhe kann durch<br />
den effektiveren Transfer der Lichtleistung von der nullten Ordnung zur höheren Ordnung<br />
erklärt werden. Allerdings ist der Kurzschlussstrom verglichen mit den Dioden auf den geätzten,<br />
statistisch rauen Substraten kleiner. Eine Erklärung hierfür liegt in der höheren Reflexion<br />
durch eine geringere Lichteinkopplung und das geringere Light-Trapping. Unter blauer Beleuchtung<br />
ergibt sich keine Abhängigkeit von der Stufenhöhe. Die gemessenen Werte für den<br />
Kurzschlussstrom stimmen mit den Zellen auf den geätzten Substraten überein. Der ISC der<br />
Zellen auf periodisch <strong>strukturier</strong>ten Substraten ist unter blauer Beleuchtung deutlich höher als<br />
der Strom von den Dioden auf den glatten Substraten, obwohl die Reflexion vergleichbar ist<br />
und deutlich über dem Wert der Reflexion auf geätztem Substrat liegt. In Abbildung 5.17 und<br />
Abbildung 5.18 sind die Reflexionsmessungen der µc-Si:H-Solarzellen auf verschiedenen<br />
periodisch <strong>strukturier</strong>ten Substraten mit unterschiedlicher Stufenhöhe abgebildet.<br />
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