Deliverables and Services - IHP Microelectronics

wurden mit dem Schlussbericht erfolgreich beendet.
Das Gemeinsame Labor beteiligt sich an Arbeiten, um
bisher ungenutzte Eigenschaften des Siliziums für einen
künftigen Einsatz auf neuen Gebieten zu erschließen,
so z.B. für thermo-elektrische Generatoren im
Rahmen des BMBF-Projektes „SiGeTE“.
Basierend auf den Ergebnissen dieser Vorlaufforschung –
zu der z.B. Si-basierte Lichtemitter, Si-basierte Nanostrukturen
wie c-Si / SiO 2 -Schichtstapel oder die kontrollierte
Ausnutzung der physikalischen Eigenschaften
von Versetzungen zählt – werden für das IHP Entscheidungen
für seine zukünftige inhaltliche Ausrichtung
vorbereitet.
Die langfristigen Forschungsschwerpunkte des Gemeinsamen
Labors zum Komplex „Silizium“ sollen Beiträge
zur Weiterentwicklung der Mikroelektronik, zur Einführung
einer Si-basierten Nanoelekronik, zur Einführung
einer Si-basierten Photonik und zur Unterstützung der
Si-basierten Photovoltaik liefern. Auf dem letztgenannten
Gebiet ist das Gemeinsame Labor in der BTU-Forschungeinrichtung
CeBra (Centrum für Energietechnologie
Brandenburg, siehe www.tu-cottbus.de/cebra/)
verankert.
Die grundlegende Such- und Vorlaufforschung zu neuen
und verbesserten Si-Eigenschaften durch Einsatz
von Methoden des Defect Engineering sind auf die unten
aufgeführten Schwerpunkte ausgerichtet. Es wurde
damit begonnen, auch Ge in die Arbeiten einzubeziehen.
Die Schwerpunkte der Arbeit werden im Rahmen
von Projekten, meist in Arbeitsteilung mit externen
Partnern und unter Hinzuziehung von BTU-Lehrstühlen,
verfolgt:
- Versetzungs-Engineering in Silizium für Lichtemitter
und andere Anwendungen,
- Si-Nanostrukturen,
- Si-Wafer für zukünftige Technologiegenerationen,
- Elektrische Aktivität von Kristalldefekten in Solar-Si,
- Entwicklung spezieller Meß- und Diagnoseverfahren,
insbesondere Synchrotrontechniken.
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G e M e I N S A M e L A B o r e – J o I N t L A B S
and nuclear Safety), one project funded by the technologiestiftung
Berlin and two industry funded projects.
the results of the project SIleM (Integratable
Si-emitter and detectors), funded by the BMBF, were
successfully finished and summarized in the final report.
the Joint lab participates in research aimed at
using silicon properties that have not been used to
date for new application areas, e.g. for thermoelectrical
generators within the project SiGete , supported
by the BMBF.
Based on the results of this forerunning research, e.g.
Si-based light emitter, Si-based nanostructures such
as c-Si / Sio 2 layer stacks or controlled application of
the physical properties of dislocations as active device
components, decisions for the future research of
the IHp are prepared.
the long-term research focus of the Joint lab for the
complex “silicon” is aimed at delivering contributions
for the future development of microelectronics,
for the implementation of Si-based nanoelectronics
and Si-based photonics, and for the support of Si-based
photovoltaics. With the latter research field, the
Joint lab is connected with the Btu research facility
CeBra (Center for energy technology Brandenburg,
see also www.tu-cottbus.de/cebra/).
the basic and forerunning research related to new
and improved Si properties using methods of defect
engineering is directed towards the areas listed below.
the material Germanium has also been started to
be included. the main activities are organized in the
form of projects, usually carried out in collaboration
with external partners and including Btu chairs when
useful:
- Dislocation-engineering in silicon for light
emitters and other applications,
- Si-nanostructures,
- Si-wafer for future technology generations,
- electrical activity of crystal defects in solar
silicon,
- Development of special methods for measurement
and diagnostics, in particular synchrotron techniques.