PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
Вакуумные вводы и датчики на основе кристалла кварца<br />
Вращательные головки датчика серии RSH-600 сконструированы<br />
для требовательных процессов, в которых напыляются очень толстые<br />
плёнки из нескольких различных материалов.<br />
КОНФИГУРАЦИИ ДАТЧИКА<br />
Датчик серии RSH-600 вмещает шесть кристаллов в теплоизолированном<br />
корпусе с водяным охлаждением, обеспечивающем высокие<br />
рабочие характеристики кристалла в средах, где температура<br />
до 300 °C. Кристаллы устанавливаются в легкоизвлекаемый держатель<br />
из нержавеющей стали и тефлона. Кристаллы перемещаются<br />
на1 позицию подачей импульса длительностью 1 с на пневматический<br />
клапан 115 В переменного тока, 36 мА или 24 В постоянного<br />
тока, 29 мА. 7-контактный электрический соединитель обеспечивает<br />
индивидуальные замыкания переключателя на землю для<br />
индикации текущей позиции кристалла.<br />
ВАКУУМНЫЕ ВВОДЫ<br />
Датчик серии RSH-600 может быть оснащён плоской головкой для<br />
установки сверху через вакуумный ввод с уплотнительным кольцом<br />
(не входит в комплект). Для установки в вакуумную камеру<br />
сбоку датчик может быть оснащён конусной головкой (угол 45°).<br />
Датчик RSH-600<br />
Стандартные крышки головки изготовлены из нержавеющей стали.<br />
Крышки головки также изготавливаются из меди для приложений,<br />
в которых температура может создавать проблемы.<br />
Фиксатор кристаллов и стандартная<br />
крышка из нержавеющей стали.<br />
Датчики RSH-600 изготавливаются с разной глубиной ввода в вакуумную<br />
камеру:<br />
глубина ввода в вакуумную камеру = до 200 мм<br />
глубина ввода в вакуумную камеру = до 350 мм<br />
глубина ввода в вакуумную камеру = до 450 мм<br />
глубина ввода в вакуумную камеру = до 540 мм<br />
глубина ввода в вакуумную камеру = до 650 мм<br />
Медная крышка головки<br />
ПРЕИМУЩЕСТВА<br />
6 кристаллов<br />
Обратная связь по положению<br />
Регулируемая длина<br />
Прочная конструкция<br />
Конусная головка (угол 45°)<br />
102<br />
Поставки и сервис ООО «ЭмЭсЭйч Техно», тел./факс: +7 (495) 660-88-97, 722-12-90, www.msht.ru
Change language