PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
ИЗМЕРИТЕЛИ И КОНТРОЛЛЕРЫ НА ОСНОВЕ КРИСТАЛЛА КВАРЦА ДЛЯ ПРОЦЕССА НАПЫЛЕНИЯ<br />
Дополнительные принадлежности и запасные части<br />
SQC310<br />
SQC310C<br />
Измерение<br />
Вводы QCM 2 (4 дополнительно) 4<br />
Диапазон частот<br />
4-6 МГц<br />
Разрешающая способность по частоте<br />
±0,03 Гц при периоде измерения 0,1 с<br />
Стабильность частоты<br />
общая: ±2 ppm в диапазоне 0-50°C<br />
Частота измерения<br />
1-10 Гц<br />
Отображение скорости напыления<br />
0,01 Å/с<br />
Управление<br />
Память<br />
100 процессов, 1000 слоёв, 50 плёнок<br />
Управляющие выводы 2 (4 дополнительно) 4<br />
Выходной сигнал<br />
0-10 В постоянного тока, 15 бит<br />
Дискретные вводы/реле 8 (16 дополнительно) 16<br />
Дискретные вводы<br />
5 В постоянного тока, неизолированные<br />
Реле<br />
однополюсные: 1 А, 30 В, макс. 2 А<br />
Интерфейс(-ы)<br />
Электрические соединители стандарта RS-232 и USB (дополнительно Ethernet)<br />
Пульт дистанционного регулирования мощности<br />
Нет в стандартной комплектации<br />
Дисплей<br />
Тип ЖК дисплей с активной матрицей ¼ VGA 320 х 240<br />
Графики<br />
скорость напыления, отклонение, мощность или в численной форме в<br />
полноэкранном формате<br />
Общие<br />
Электропитание<br />
100-240 В, 50/60 Гц, 25 Вт<br />
Соответствие требованиям<br />
CE<br />
ПО под Windows®<br />
В комплекте<br />
Установка Форм-фактор «half-rack 5 ¼»<br />
26<br />
Поставки и сервис ООО «ЭмЭсЭйч Техно», тел./факс: +7 (495) 660-88-97, 722-12-90, www.msht.ru
Change language