PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
ИЗМЕРИТЕЛИ И КОНТРОЛЛЕРЫ НА ОСНОВЕ КРИСТАЛЛА КВАРЦА ДЛЯ ПРОЦЕССА НАПЫЛЕНИЯ<br />
Плата контроллера SQM242<br />
совместного напыления тонких плёнок<br />
Плата контроллера SQM242 совместного напыления тонких плёнок<br />
– недорогой способ контроля совместного напыления посредством<br />
одной платы pci.<br />
Плата SQM242 превращает ПК в контроллер процесса совместного<br />
напыления тонких плёнок. Это идеальный выбор для изготовителей<br />
комплектного оборудования, а также для решения задачи<br />
интегрирования контроллера напыления тонких плёнок в имеющуюся<br />
компьютерную систему управления.<br />
В этой типичной системе напыления с одним датчиком плата<br />
SQM242 устанавливается в слот шины PCI на системной плате<br />
компьютера. Датчик на основе кристалла кварца подключается к<br />
одному из четырёх вводов платы SQM242, а один из выводов платы<br />
SQM242 подключается к управляющему вводу источника питания<br />
системы напыления. Внутренний контур ПИД-регулирования<br />
на плате сравнивает измеренное значение скорости напыления с<br />
заданным и изменяет выходной сигнал, подаваемый источнику<br />
питания, для установления необходимой скорости напыления. В<br />
процессе управления вручную плата SQM242 также может контролировать<br />
скорость напыления и толщину плёнки.<br />
Датчик<br />
Генератор<br />
ПРЕИМУЩЕСТВА<br />
ПК<br />
Источник<br />
питания<br />
Совместное напыление без труда осуществляется путём назначения<br />
одного или нескольких датчиков и управляющего вывода каждому<br />
источнику материала. Скорость напыления каждого материала регулируется<br />
независимо отдельным контуром ПИД-регулирования.<br />
Каждая плата SQM242 способна управлять совместным напылением<br />
двух материалов. Для совместного напыления большего числа<br />
материалов установите дополнительные платы в компьютере.<br />
Четыре ввода для датчиков и два управляющих вывода<br />
Использование нескольких плат для большего числа датчиков и<br />
выводов<br />
Четыре дополнительных аналоговых ввода (SAM242)<br />
ПО LabView и Visual Basic<br />
Предоставляется исходный код для интеграции в систему<br />
Небольшая дочерняя плата SAM242 предоставляет четыре аналоговых<br />
ввода 10 В и два дополнительных управляющих вывода. Эти<br />
вводы можно использовать для контроля другого оборудования<br />
техпроцесса, например оптического монитора, чтобы определить<br />
момент окончания. Аналоговые вводы также можно назначить<br />
любому выводу для управления нагревом подложки, напылением<br />
с регулируемой температурой и т. д.<br />
31<br />
Поставки и сервис ООО «ЭмЭсЭйч Техно», тел./факс: +7 (495) 660-88-97, 722-12-90, www.msht.ru
Change language