PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
ИЗМЕРИТЕЛИ И КОНТРОЛЛЕРЫ НА ОСНОВЕ КРИСТАЛЛА КВАРЦА ДЛЯ ПРОЦЕССА НАПЫЛЕНИЯ<br />
Измеритель Q-Pod<br />
на основе кристалла кварца<br />
Q-POD – ПРОСТОЙ ИЗМЕРИТЕЛЬ<br />
НА ОСНОВЕ КРИСТАЛЛА КВАРЦА<br />
На рисунке ниже схематично показана типичная система напыления<br />
тонких плёнок. В состав системы с прибором Q-pod входят: измеритель<br />
Q-pod, датчик с вакуумным вводом и ПК.<br />
Типичная система Q-POD: измерительный преобразователь Q-pod<br />
датчик<br />
вакуумный ввод: 1-дюймовое резьбовое<br />
соединение или 2 ¾ ConFlat<br />
кристаллы, 10 шт.<br />
ВОЗМОЖНОСТИ ОБЫЧНОГО ИЗМЕРИТЕЛЯ НА ОСНОВЕ<br />
КРИСТАЛЛА КВАРЦА В КОНТЕКСТЕ РАЗМЕРА И СТОИМОСТИ<br />
Измерительный преобразователь INFICON Q-pod – это небольшой,<br />
недорогой, точный прибор для измерения скорости напыления<br />
и толщины тонких плёнок. Невозможно ещё больше упростить<br />
настройку и эксплуатацию прибора. Подсоедините сигнальный кабель<br />
от датчика QCM к электрическому BNC-соединителю прибора<br />
Q-pod. С другой стороны стандартный кабель с USB-соединителем<br />
подключает прибор к ПК. Не требуются внешние генератор и источник<br />
питания. Чтобы приступить к эксплуатации прибора, загрузите<br />
бесплатное ПО измерителя Q-pod на ПК. ПО прибора Q-pod<br />
отображает значения скорости напыления, толщины, частоты,<br />
срока службы кристалла, а также график зависимости скорости<br />
напыления от времени одновременно для максимум восьми измерителей<br />
Q-pod. Показания прибора Q-pod можно записывать на<br />
диск в удобном формате электронной таблицы с разделяющими<br />
запятыми.<br />
ПО ПРИБОРА Q-POD<br />
На приведённом снимке экрана показано окно управления и<br />
основной настройки программы, поставляемой в комплекте к<br />
прибору Q-pod. Программа поддерживает подключение до восьми<br />
приборов Q-pod к одному ПК. (Для подключения каждого Q-pod<br />
требуется один свободный электрический соединитель стандарта<br />
USB)<br />
ПРЕИМУЩЕСТВА<br />
Система напыления тонких пленок<br />
Датчик<br />
QCM<br />
Вакуумный<br />
ввод<br />
Короткий (150 мм)<br />
кабель с электрическим<br />
BNC-соединителем<br />
Q-pod<br />
Подложка<br />
Затвор<br />
источника<br />
Источник<br />
USB<br />
Ваш ПК<br />
Кабель с электрическим<br />
USB-соединителем<br />
34<br />
Самый простой и недорогой измеритель на основе кристалла кварца<br />
среди аналогов<br />
Подключение непосредственно к электрическим USB-соединителям<br />
ПК<br />
до 8 приборов Q-pod<br />
В комплект входит программа под Windows® для управления и протоколирования<br />
данных<br />
Прибор имеет массу меньше 60 г и настолько маленький размер,<br />
что помещается в кармане рубашки<br />
Программа измерителя Q-pod поддерживает подключение до восьми приборов<br />
Q-pod к одному ПК.<br />
Поставки и сервис ООО «ЭмЭсЭйч Техно», тел./факс: +7 (495) 660-88-97, 722-12-90, www.msht.ru