10.11.2014 Views

PDF, Русский, 6 МБ - MSH Techno «ЭмЭсЭйч Техно

PDF, Русский, 6 МБ - MSH Techno «ЭмЭсЭйч Техно

PDF, Русский, 6 МБ - MSH Techno «ЭмЭсЭйч Техно

SHOW MORE
SHOW LESS

You also want an ePaper? Increase the reach of your titles

YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.

ИЗМЕРИТЕЛИ И КОНТРОЛЛЕРЫ НА ОСНОВЕ КРИСТАЛЛА КВАРЦА ДЛЯ ПРОЦЕССА НАПЫЛЕНИЯ<br />

Измеритель Q-Pod<br />

на основе кристалла кварца<br />

Q-POD – ПРОСТОЙ ИЗМЕРИТЕЛЬ<br />

НА ОСНОВЕ КРИСТАЛЛА КВАРЦА<br />

На рисунке ниже схематично показана типичная система напыления<br />

тонких плёнок. В состав системы с прибором Q-pod входят: измеритель<br />

Q-pod, датчик с вакуумным вводом и ПК.<br />

Типичная система Q-POD: измерительный преобразователь Q-pod<br />

датчик<br />

вакуумный ввод: 1-дюймовое резьбовое<br />

соединение или 2 ¾ ConFlat<br />

кристаллы, 10 шт.<br />

ВОЗМОЖНОСТИ ОБЫЧНОГО ИЗМЕРИТЕЛЯ НА ОСНОВЕ<br />

КРИСТАЛЛА КВАРЦА В КОНТЕКСТЕ РАЗМЕРА И СТОИМОСТИ<br />

Измерительный преобразователь INFICON Q-pod – это небольшой,<br />

недорогой, точный прибор для измерения скорости напыления<br />

и толщины тонких плёнок. Невозможно ещё больше упростить<br />

настройку и эксплуатацию прибора. Подсоедините сигнальный кабель<br />

от датчика QCM к электрическому BNC-соединителю прибора<br />

Q-pod. С другой стороны стандартный кабель с USB-соединителем<br />

подключает прибор к ПК. Не требуются внешние генератор и источник<br />

питания. Чтобы приступить к эксплуатации прибора, загрузите<br />

бесплатное ПО измерителя Q-pod на ПК. ПО прибора Q-pod<br />

отображает значения скорости напыления, толщины, частоты,<br />

срока службы кристалла, а также график зависимости скорости<br />

напыления от времени одновременно для максимум восьми измерителей<br />

Q-pod. Показания прибора Q-pod можно записывать на<br />

диск в удобном формате электронной таблицы с разделяющими<br />

запятыми.<br />

ПО ПРИБОРА Q-POD<br />

На приведённом снимке экрана показано окно управления и<br />

основной настройки программы, поставляемой в комплекте к<br />

прибору Q-pod. Программа поддерживает подключение до восьми<br />

приборов Q-pod к одному ПК. (Для подключения каждого Q-pod<br />

требуется один свободный электрический соединитель стандарта<br />

USB)<br />

ПРЕИМУЩЕСТВА<br />

Система напыления тонких пленок<br />

Датчик<br />

QCM<br />

Вакуумный<br />

ввод<br />

Короткий (150 мм)<br />

кабель с электрическим<br />

BNC-соединителем<br />

Q-pod<br />

Подложка<br />

Затвор<br />

источника<br />

Источник<br />

USB<br />

Ваш ПК<br />

Кабель с электрическим<br />

USB-соединителем<br />

34<br />

Самый простой и недорогой измеритель на основе кристалла кварца<br />

среди аналогов<br />

Подключение непосредственно к электрическим USB-соединителям<br />

ПК<br />

до 8 приборов Q-pod<br />

В комплект входит программа под Windows® для управления и протоколирования<br />

данных<br />

Прибор имеет массу меньше 60 г и настолько маленький размер,<br />

что помещается в кармане рубашки<br />

Программа измерителя Q-pod поддерживает подключение до восьми приборов<br />

Q-pod к одному ПК.<br />

Поставки и сервис ООО «ЭмЭсЭйч Техно», тел./факс: +7 (495) 660-88-97, 722-12-90, www.msht.ru

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!