PDF, Русский, 6 МБ - MSH Techno «ЭмЭсЭйч Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾

ПРИОБРЕТАЙТЕ ВЫСОКОКАЧЕСТВЕННЫЕ КРИСТАЛЛЫ INFICON
ПО ДОСТУПНОЙ ЦЕНЕ
Кварцевые кристаллы компании INFICON удовлетворят всем вашим
требованиям в отношении надёжности, доступности и стоимости.
Ни одна другая компания не может гарантировать полный
контроль качества на всех этапах от исходного кварца до обработанного
кристалла измерителя, кроме компании INFICON. Поскольку
теперь основной поставщик необработанных кристаллов кварца
входит в компанию INFICON.
ИЗГОТОВЛЕНИЕ ТОЛЬКО КАЧЕСТВЕННЫХ КРИСТАЛЛОВ
Компания INFICON производит кварцевые кристаллы с частотой 5
или 6 МГц, с серебряными, золотыми электродами или изготовленными
из сплавов, уменьшающих напряжение, в соответствии
со строгими техническими условиями. Кристаллы также проходят
тщательную проверку способности генерировать сильный импульс
и функционировать с оптимальной надёжностью. Конструкция с
плоско-выпуклым АТ-срезом (мода колебаний кварцевого резонатора)
уменьшает погрешности определения скорости напыления и
толщины плёнки сводя к минимуму число мод паразитных колебаний
(или перескоки моды). Имеется возможность выбора размера:
по типу Sloan или по стандарту INFICON. Кроме того, возможно изготовление
кристаллов, имеющих особый размер и частоту, указанные
заказчиком, обращайтесь к специалистам «ЭмЭсЭйч Техно».
Вакуумные вводы и датчики на основе кристалла кварца
Кварцевые кристаллы
компании INFICON
ВЫБОР ПОДХОДЯЩЕГО КРИСТАЛЛА
Наша компания непрерывно занимается изучением характеристик
кварцевых кристаллов. Результатом этой работы является
постоянное усовершенствование изделий, чтобы обеспечить максимальную
надёжность техпроцесса, в котором они используются.
Для большинства приложений мы рекомендуем использовать
кристаллы с золотыми электродами. Однако кристаллы с серебряными
электродами обеспечат более высокие эксплуатационные
характеристики в процессах с существенными тепловыми нагрузками,
например при напылении. Кроме того, они могут способствовать
осаждению оксидов. А кристаллы с электродами из сплава
рекомендуются для процессов нанесения оптических покрытий с
диэлектрическими материалами и технологии производства полупроводниковых
приборов с сильнонапряжёнными материалами.
ПОЛНЫЙ НАБОР ПРИБОРОВ
ДЛЯ УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССОМ НАПЫЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЁНОК
Независимо от уровня сложности вашей системы, использования
в ней термовакуумного испарения, ионных пучков или напыления
– компания INFICON производит полный набор контроллеров, измерителей,
датчиков и вакуумных вводов для удовлетворения потребностей
заказчика.
ПРОВЕРКА И ИСПЫТАНИЕ ВСЕХ КРИСТАЛЛОВ
Чтобы обеспечить максимальный срок службы в вашем техпроцессе,
а также стабильный и точный контроль скорости напыления,
каждый кристалл проходит проверку следующих характеристик:
Сопротивление – Проверка сопротивления гарантирует стабильность
измерения и большую долговечность покрытия.
Сопротивление характеризует электричекий контакт и молекулярное
притяжение электрода.
Частота – Проверка начальной частоты в пределах узкого
диапазона спецификации гарантирует высокую точность измерения
толщины плёнки.
Искривление – Выполнение электрического испытания на
искривление гарантирует стабильность резонанса. Недостаточное
искривление приводит к более быстрому ухудшению
стабильности измерения.
Визуальное соответствие – Осмотр каждого кристалла на
предмет единообразия электродов, отсутствия поверхностных
и других дефектов, свидетельствующих о плохом молекулярном
притяжении электродов и загрязнении.
ТРИ УДОБНЫХ УПАКОВКИ
Диспенсер, пригодный для чистой комнаты – вмещает 10 кристаллов,
которые могут устанавливаться прямо в держатель датчика
или с помощью инструмента, входящего в комплект.
Плоский карусельный диспенсер – вмещает 10 кристаллов, которые
извлекаются вакуумнымм пинцетом или устанавливаются
прямо в держатель.
Диспенсер в компактном коробке – вмещает 10 кристаллов, которые
извлекаются вакуумным или обычным пинцетом.
109
Поставки и сервис ООО «ЭмЭсЭйч Техно», тел./факс: +7 (495) 660-88-97, 722-12-90, www.msht.ru