PDF, Русский, 6 МБ - MSH Techno «ЭмЭсЭйч Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾

ИЗМЕРИТЕЛИ И КОНТРОЛЛЕРЫ НА ОСНОВЕ КРИСТАЛЛА КВАРЦА ДЛЯ ПРОЦЕССА НАПЫЛЕНИЯ
Контроллер IC6
напыления тонких плёнок
Превосходная
повторяемость
OLED-ПРИЛОЖЕНИЯ
Контроллер IC6 напыления тонких плёнок предоставляет очень
полезные возможности, комбинируя проверенные эксплуатационные
характеристики контроллеров INFICON напыления тонких
плёнок с уникальными функциями, разработанными для максимально
эффективного использования технологии напыления. В
контроллере IC6 реализована разработанная нами система измерения
частоты ModeLock, чтобы обеспечить стабильное измерение
толщины плёнки и скорости напыления с высоким разрешением.
Наш прибор обладает непревзойдённой другими подобными
контроллерами разрешающей способностью по скорости 0,00433
А/с каждую 1/10 секунды. Ни один другой контроллер на основе
кристалла кварца не обладает рабочими характеристиками, качеством
и функциями, которые имеет контроллер IC6, обеспечивающий
непревзойденную повторяемость процедуры измерения.
ВЫСОКАЯ ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ
Прибор IC6 способен одновременно контролировать работу до 6
источников, независимо один от другого или в любой комбинации.
Это упрощает конфигурацию системы и сокращает расходы,
поскольку исключает потребность в дополнительных 2-3 контроллерах.
Компания INFICON также выпускает датчик на 12 кристаллах,
который автоматически переключает кристаллы, не прерывая
технологический процесс. Это позволяет осуществлять непрерывный
мониторинг скорости напыления и увеличить период между
продувкой оборудования. Для управления работой источника,
Функция Auto Z значительно повышает точность измерения толщины плёнки,
полученной путём напыления разных материалов в несколько слоёв.
ПРЕИМУЩЕСТВА
Технология INFICON ModeLock обеспечивает наиболее стабильный
процесс измерения толщины плёнки и скорости напыления с самым
высоким разрешением по сравнению с другими контроллерами,
даже при очень низких скоростях напыления
Функция Auto Z повышает точность измерения толщины плёнки путём
автоматического определения Z-фактора (отношение акустических
импедансов кварцевого кристалла и осажденного материала)
в процессе напыления материала
Один прибор IC6 способен одновременно контролировать работу до
6 источников, независимо один от другого или в любой комбинации.
Это исключает потребность в дополнительных 2-3 контроллерах
Цветной ЖК дисплей на основе технологии тонкоплёночных транзисторов
(TFT) наглядно отображает параметры процесса напыления
Измерение 10 Гц
±0,0035 Гц при измерении за 100 мс
USB-устройство для хранения данных, моментальных снимков
экрана, программы процесса напыления и регистрации данных
Суммирование толщины для нескольких источников
Усреднение скорости измерения для материалов с низкой плотностью,
очень медленной скоростью напыления (до 30 секунд при использовании
стабильных источников для напыления легирующих
примесей в OLED-приложениях с очень медленной скоростью)
Отображение разрешающей способностью по скорости до 0,001 А/с
Кабель длиной 4 м в дополнительном комплекте генератора XIU позволяет
использовать длинные кабели для датчика в вакууме для
больших систем
Контроль операций, не связанных с напылением, позволяет осуществлять
непрерывное управление источником в процессе выполнения
операций с подложками в камере осаждения тонких
плёнок
6 выводов ЦАП в стандартном исполнении, 6 дополнительных (нет
в стандартной комплектации) выводов для управления источником,
мониторинга скорости напыления и толщины плёнки
Интерфейс для передачи данных по сети Ethernet (нет в стандартной
комплектации)
Соответствует положениям директивы (RoHS), ограничивающей содержание
вредных веществ
7
Поставки и сервис ООО «ЭмЭсЭйч Техно», тел./факс: +7 (495) 660-88-97, 722-12-90, www.msht.ru