PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
Вакуумные вводы и датчики на основе кристалла кварца<br />
Технические характеристики<br />
Технические характеристики датчика на 6 кристаллах 750-446-G1<br />
Макс. температура прогрева без водяного охлаждения 130°C<br />
Макс. температура рабочей изотермической среды при<br />
минимальном расходе охлаждающей воды<br />
400°C<br />
Коаксиальные трубки и трубки для воды и воздуха 76 см в стандартном исполнении<br />
Замена кристалла<br />
фронтальная установка, требуется инструмент для извлечения (входит в<br />
комплект)<br />
Установка<br />
шесть #4-40 резьбовых отверстий на задней стороне корпуса датчика<br />
Размер (макс. огибающая)<br />
диам. 9,7 см x 5,1 см высота<br />
Требования установки<br />
Вакуумный ввод<br />
Прочее<br />
Кол-во (1) 2 ¾-дюймовый фланец ConFlat® с двумя коаксиальными<br />
вакуумными вводами, 2 проходных фитинга для присоединения трубок<br />
подачи воды и один для трубки для воздуха, IPN 002-080,<br />
или<br />
Кол-во (1) 1-дюймовое резьбовое соединение с 1 коаксиальным вакуумным<br />
вводом, 2 проходных фитинга для присоединения трубок подачи воды и один<br />
для трубки для воздуха, IPN 750-030-G1<br />
Пользователь обеспечивает вакуумплотные паяные соединения или фитинги<br />
для трубок для воды или воздуха.<br />
Клапанный блок для воздуха (не входит в комплект), IPN 750-420-G1, с<br />
ограничительной диафрагмой 0,022 дюйма, устанавливаемой пользователем.<br />
(Диафрагма входит к комплект принадлежностей датчика на 6 кристаллах)<br />
XIU или генератор сконструированы для взаимодействия с контроллером<br />
напыления<br />
Контроллер напыления должен быть сконструирован для работы с этим<br />
конкретным датчиком на кристаллах:<br />
(INFICON XTC/2, XTC/C, IC/4, IC/4 PLUS, IC/5, Cygnus, XTC/3M, STC/3S, SQC310,<br />
SQC310C)<br />
Коммуникации<br />
Пластина, держатели, антинапылительный экран,<br />
механические части<br />
Пружины, электрические контакты<br />
Трубки для воды или воздуха<br />
Соединитель (Microdot®)<br />
Изоляторы<br />
Кабель<br />
Кристалл<br />
Корпус и карусель<br />
нержавеющая сталь типа 304<br />
позолоченный сплав бериллия и меди, позолоченный инконель,<br />
нержавеющая сталь 303<br />
бесшовная трубка из нержавеющей стали 304 с наружным диаметром 3,2 мм<br />
и толщиной стенки 0,4 мм длиной 76 см<br />
нержавеющая сталь<br />
> 99 % Al2O3<br />
медь, покрытая тефлоном<br />
диаметр 0,55 дюйма<br />
алюминий 2024 T351<br />
97<br />
Поставки и сервис ООО «ЭмЭсЭйч Техно», тел./факс: +7 (495) 660-88-97, 722-12-90, www.msht.ru
Change language