10.11.2014 Views

PDF, Русский, 6 МБ - MSH Techno «ЭмЭсЭйч Техно

PDF, Русский, 6 МБ - MSH Techno «ЭмЭсЭйч Техно

PDF, Русский, 6 МБ - MSH Techno «ЭмЭсЭйч Техно

SHOW MORE
SHOW LESS

Create successful ePaper yourself

Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.

Вакуумные вводы и датчики на основе кристалла кварца<br />

Фронтальный термостойкий датчик<br />

Фронтальный термостойкий датчик INFICON обеспечивает подтверждённые испытаниями надёжность и долговечность, а также имеет наилучшую<br />

тепловую стабильность по сравнению с любой другой головкой датчика, имеющейся на рынке. Термостойкий датчик изготовлен с<br />

использованием таких материалов как нержавеющая сталь 304, молибден, инконель, никель и алюминий специально, чтобы выдерживать<br />

длительное воздействие температуры прогрева до 450 °C (только для прогрева, подача воды требуется для контроля реального процесса<br />

напыления). Конструкция с фронтальной установкой обеспечивает лёгкую установку держателя кристалла в тех приложениях, где недостаточно<br />

пространства для установки сбоку.<br />

КОНФИГУРАЦИИ ДАТЧИКА<br />

Фронтальный термостойкий датчик изготавливается в конфигурации<br />

для стандартной установки, когда трубки для воды параллельны<br />

грани кристалла. По выбору, можно заказать датчики с затвором<br />

кристалла с пневматическим приводом для защиты кристалла<br />

во время нагрева источника, когда он не используется во время<br />

напыления другого материала или для продления срока службы<br />

кристалла с помощью RateWatcher.<br />

Подвергающийся воздействию электрод кристалла полностью заземлён<br />

для эффективного предотвращения возможных проблем<br />

из-за электромагнитных помех.<br />

ВАКУУМНЫЙ ВВОД И ЕГО ПРИСОЕДИНЕНИЕ<br />

Все термостойкие датчики изготавливаются с приваренным фланцем<br />

2 ¾-дюйма (CF40) ConFlat® вакуумного ввода. Необходимо<br />

заполнить форму спецификации длины датчика, предоставляемую<br />

компанией INFICON, прежде чем делать заказ и приложить<br />

заполненную форму к заказу. Для заказа датчиков обращайтесь к<br />

специалистам «ЭмЭсЭйч Техно».<br />

ПРЕИМУЩЕСТВА<br />

Термостойкая сварная и паяная конструкция<br />

Температура прогрева до 450 °C<br />

Затвор кристалла (по заказу)<br />

Держатель кристалла с фронтальной установкой<br />

Простая установка<br />

Вакуумный ввод с фланцем CF 40<br />

Пайка или приваривание к вакуумному вводу не требуются<br />

Комбинация вакуумного ввода с датчиком со сварным соединением<br />

изготавливается согласно спецификации длины, указанной заказчиком<br />

76<br />

Поставки и сервис ООО «ЭмЭсЭйч Техно», тел./факс: +7 (495) 660-88-97, 722-12-90, www.msht.ru

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!