PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
Вакуумные вводы и датчики на основе кристалла кварца<br />
Датчик на 6 кристаллах (CrystalSix)<br />
Датчик на 6 кристаллах компании INFICON специально сконструирован<br />
для длительных технологических процессов, требующих<br />
непрерывного контроля скорости напыления. В OLED- и MBEприложениях,<br />
при производстве солнечных панелей или в других<br />
техпроцессах с длительным интервалом между вентиляциями камеры,<br />
датчик CrystalSix обеспечивает высокую надёжность за счёт<br />
6 кварцевых кристаллов, установленных в одной головке измерительного<br />
датчика. При использовании с контроллером процесса напыления<br />
тонких плёнок компании INFICON датчик на 6 кристаллах<br />
автоматически поворачивает новый кристалл в рабочую позицию<br />
в случае повреждения или нестабильной работы кристалла.<br />
Кристаллы автоматически переключаются, не прерывая процесс<br />
непрерывного контроля скорости напыления.<br />
Механизм с пневматическим приводом осуществляет периодическую<br />
круговую подачу кристаллов. Этот пневмодвигатель обеспечивает<br />
более высокую тепловую стабильность по сравнению с<br />
модулями конкурентов, в которых используются дорогие электродвигатели<br />
для работы в условиях вакуума, выделяющие тепло.<br />
Трубки для воды диаметром 1/8 дюйма поддерживают стабильную<br />
температуру головки датчика и не ограничивают возможность выбора<br />
местоположения датчика.<br />
При использовании с некоторыми контроллерами процесса напыления<br />
тонких плёнок компании INFICON, этот датчик поддерживает<br />
обратную связь по положению, что позволяет задавать конкретные<br />
положения для отдельных материалов.<br />
ПРЕИМУЩЕСТВА<br />
Вмещает 6 кристаллов с надёжным автоматическим механизмом переключения для сведения к минимуму времени простоя<br />
Стабильная температура кристалла, благодаря использованию пневматического механизма переключения кристаллов (модули конкурентов<br />
используют электродвигатели, выделяющие тепло)<br />
1/8-дюймовые трубки для воды поддерживают стабильную температуру и не ограничивают возможность выбора местоположения датчика<br />
Дополнительно можно заказать затвор кристалла<br />
95<br />
Поставки и сервис ООО «ЭмЭсЭйч Техно», тел./факс: +7 (495) 660-88-97, 722-12-90, www.msht.ru
Change language