10.11.2014 Views

PDF, Русский, 6 МБ - MSH Techno «ЭмЭсЭйч Техно

PDF, Русский, 6 МБ - MSH Techno «ЭмЭсЭйч Техно

PDF, Русский, 6 МБ - MSH Techno «ЭмЭсЭйч Техно

SHOW MORE
SHOW LESS

You also want an ePaper? Increase the reach of your titles

YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.

Технические характеристики<br />

ИЗМЕРИТЕЛИ И КОНТРОЛЛЕРЫ НА ОСНОВЕ КРИСТАЛЛА КВАРЦА ДЛЯ ПРОЦЕССА НАПЫЛЕНИЯ<br />

Требования к компьютеру<br />

Плата SQM242 работает в любом ПК с процессором Pentium производительностью 90 МГц или более под управлением ОС Windows® 98SE/ME/<br />

NT/2000/XP, Vista. Для установки каждой платы SQM242 или SAM242 требуется один свободный слот шины PCI.<br />

Плата контроллера SQM242 совместного напыления тонких плёнок, номер для заказа: 782-SQM-242<br />

Вводы для датчиков<br />

Четыре активных генератора<br />

QCM<br />

Выводы<br />

Два аналоговых сигнала<br />

Электрические соединители BNC Электрические соединители Два телефонных гнезда ¼<br />

Диапазон частот 1-10 МГц Сигнал от 0 до ±10 В постоянного тока<br />

Разрешающая способность по<br />

частоте<br />

0,05 Гц Разрешающая способность 15 бит<br />

Разрешение по скорости* 0,05 Å/с* Полное сопротивление 1 кОм<br />

Разрешение по толщине* 0,02 Å* Интерфейс ПК Стандартный слот шины PCI<br />

Период измерения<br />

0,1-2 сек.<br />

* Значения разрешающей способности по скорости и толщине указаны для периода 0,5 с и плотности 2,73 г/см 3 (алюминий)<br />

Плата SAM242 аналогового ввода-вывода, номер для заказа: 782-SAM-242<br />

Вводы Четыре аналоговых сигнала Выводы Два аналоговых сигнала<br />

Сигналы от 0 до ±10 В постоянного тока Сигнал от 0 до ±10 В постоянного тока<br />

Разрешающая способность 16 бит Разрешающая способность 16 бит<br />

Электрические соединители BNC Полное сопротивление 1 кОм<br />

Электрический соединитель Два телефонных гнезда ¼<br />

ПО в стандартной комплектации (в комплекте с SQM242)<br />

Обеспечивает основную настройку и контроль процесса напыления посредством одной или двух плат SQM242.<br />

Программы LabView и Visual Basic содержат исходный код и интерфейс ActiveX.<br />

Возможности использования программ многослойных процессов, выдержки до и после напыления, а также дискретный ввод-вывод НЕ<br />

предоставляются в комплекте.<br />

Дополнительное ПО SQS242, номер для заказа: 782-SQS-242<br />

Обеспечивает полную настройку и контроль процесса напыления посредством одной или двух плат SQM242 и одной платы SAM242. Средства<br />

для использования программ многослойных процессов, выдержки до и после напыления, а также дискретный ввод-вывод предоставляются<br />

в комплекте.<br />

33<br />

Поставки и сервис ООО «ЭмЭсЭйч Техно», тел./факс: +7 (495) 660-88-97, 722-12-90, www.msht.ru

Hooray! Your file is uploaded and ready to be published.

Saved successfully!

Ooh no, something went wrong!