PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
Технические характеристики<br />
ИЗМЕРИТЕЛИ И КОНТРОЛЛЕРЫ НА ОСНОВЕ КРИСТАЛЛА КВАРЦА ДЛЯ ПРОЦЕССА НАПЫЛЕНИЯ<br />
Требования к компьютеру<br />
Плата SQM242 работает в любом ПК с процессором Pentium производительностью 90 МГц или более под управлением ОС Windows® 98SE/ME/<br />
NT/2000/XP, Vista. Для установки каждой платы SQM242 или SAM242 требуется один свободный слот шины PCI.<br />
Плата контроллера SQM242 совместного напыления тонких плёнок, номер для заказа: 782-SQM-242<br />
Вводы для датчиков<br />
Четыре активных генератора<br />
QCM<br />
Выводы<br />
Два аналоговых сигнала<br />
Электрические соединители BNC Электрические соединители Два телефонных гнезда ¼<br />
Диапазон частот 1-10 МГц Сигнал от 0 до ±10 В постоянного тока<br />
Разрешающая способность по<br />
частоте<br />
0,05 Гц Разрешающая способность 15 бит<br />
Разрешение по скорости* 0,05 Å/с* Полное сопротивление 1 кОм<br />
Разрешение по толщине* 0,02 Å* Интерфейс ПК Стандартный слот шины PCI<br />
Период измерения<br />
0,1-2 сек.<br />
* Значения разрешающей способности по скорости и толщине указаны для периода 0,5 с и плотности 2,73 г/см 3 (алюминий)<br />
Плата SAM242 аналогового ввода-вывода, номер для заказа: 782-SAM-242<br />
Вводы Четыре аналоговых сигнала Выводы Два аналоговых сигнала<br />
Сигналы от 0 до ±10 В постоянного тока Сигнал от 0 до ±10 В постоянного тока<br />
Разрешающая способность 16 бит Разрешающая способность 16 бит<br />
Электрические соединители BNC Полное сопротивление 1 кОм<br />
Электрический соединитель Два телефонных гнезда ¼<br />
ПО в стандартной комплектации (в комплекте с SQM242)<br />
Обеспечивает основную настройку и контроль процесса напыления посредством одной или двух плат SQM242.<br />
Программы LabView и Visual Basic содержат исходный код и интерфейс ActiveX.<br />
Возможности использования программ многослойных процессов, выдержки до и после напыления, а также дискретный ввод-вывод НЕ<br />
предоставляются в комплекте.<br />
Дополнительное ПО SQS242, номер для заказа: 782-SQS-242<br />
Обеспечивает полную настройку и контроль процесса напыления посредством одной или двух плат SQM242 и одной платы SAM242. Средства<br />
для использования программ многослойных процессов, выдержки до и после напыления, а также дискретный ввод-вывод предоставляются<br />
в комплекте.<br />
33<br />
Поставки и сервис ООО «ЭмЭсЭйч Техно», тел./факс: +7 (495) 660-88-97, 722-12-90, www.msht.ru