PDF, Русский, 6 МБ - MSH Techno «ЭмЭсЭйч Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾

Контроллеры напыления на основе технологии ЭСЭВ
Система Guardian контроля
совместного напыления
ТОЧНЫЙ КОНТРОЛЬ ДЛЯ РАЗВИВАЮЩИХСЯ ТЕХНОЛОГИЙ
Контроллер Guardian совместного напыления на основе технологии
эмиссионной спектроскопии электронного возбуждения (ЭСЭВ)
значительно повышает воспроизводимость качества плёнки в
процессе производства плёнок из диселенид галлия-индия-меди
(CIGS). Прибор Guardian обеспечивает точный контроль скорости
напыления в диапазоне 0,1-9999 Ä/с. Система работает с одним
или двумя датчиками, имеет до 8 оптических вводов и управляет
максимум восемью источниками напыления, обеспечивая возможность
одновременного напыления до восьми материалов.
Уникальный ЭСЭВ-датчик Guardian (подана заявка на получение
патента) более точно измеряет скорость напыления, не испытывая
воздействия фоновых газов во время мониторинга CIGS-процессов.
Программа под Windows® прибора обеспечивает простые настройку
и управление процессами напыления тонких плёнок из нескольких
материалов. Она полностью совместима с датчиками INFICON
Sentinel®, что упрощает интеграцию в существующие системы.
Контроллер Guardian совместного напыления идеально подходит
для контроля одновременного совместного напыления нескольких
материалов в таких приложениях как CIGS для фотоэлектрической
энергетики, молекулярно-пучковая эпитаксия и сверхпроводящие
тонкие плёнки.
Рис. 1 Принципиальная конфигурация системы
ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ О СИСТЕМЕ
В состав полностью укомплектованной системы Guardian входят,
по меньшей мере: один детектор, оптический фильтр, интерфейсный
блок/контроллер, ПК (поставляет пользователь) с ПО Guardian.
Эмиссионная спектроскопия электронного возбуждения (ЭСЭВ)
используется, как правило, для контроля напыления нескольких
материалов, поэтому в состав большинства ЭСЭВ-систем входят
дополнительные датчики, детекторы, оптические устройства, например
делители луча, и измерители на основе кристалла кварца
(QCM) для калибровки или регулирования скорости напыления некоторых
материалов. На рисунке 1 схематично показана типичная
конфигурация системы Guardian. В этой системе Guardian контролирует
скорость напыления четырёх материалов, используя технологию
ЭСЭВ для трёх материалов и измеритель на основе кристалла
кварца для четвёртого. (Типичная конфигурация для напыления
диселенид галлия-индия-меди (CIGS) в приложениях фотоэлектрической
энергетики)
ЧТОБЫ СКОНФИГУРИРОВАТЬ СИСТЕМУ GUARDIAN КОНТРОЛЯ
СОВМЕСТНОГО НАПЫЛЕНИЯ, ПРОАНАЛИЗИРУЙТЕ СЛЕДУЮЩЕЕ
Какие длины первичной и вторичной волн эмиссии соответствуют
напыляемым материалам? Если пики, соответствующие разным
материалам, расположены близко один к другому, возможно потребуется
мониторинг длины вторичной волны эмиссии, которая
имеет меньшую интенсивность сигнала. В процессе напыления
какие фоновые газы присутствуют в вакуумной камере и какие
длины волн излучения соответствуют этим газам? Если излучение
фоновых газов взаимодействует с напыляемыми материалами,
рекомендуется использовать датчик с компенсацией влияния этих
газов. ЭСЭВ – это наиболее эффективная технология с уникально
определяемыми спектрами атомных частиц. Молекулярные ча-
ПРЕИМУЩЕСТВА
Одновременные мониторинг и управление напылением максимум
восьми материалов
Скорость напыления в диапазоне от 0,1 до 9999 Ä/с
Интегрированный ЭСЭВ и QCM контроль процесса напыления тонких
плёнок
Оптимально подходит для процесса напыления тонких плёнок из
диселенид галлия-индия-меди (CIGS)
39
Поставки и сервис ООО «ЭмЭсЭйч Техно», тел./факс: +7 (495) 660-88-97, 722-12-90, www.msht.ru