Контроллеры напыления на основе технологии ЭСЭВ Оптические ЭСЭВ фильтры Guardian (выберите нужное количество и длину волны) Пропускает к оптическому детектору излучение только с выбранной длиной волны. Это позволяет контроллеру Guardian осуществлять мониторинг отдельного распыляемого материала. Можно заказать другие модели фильтров. 782-900-035-202 Оптический фильтр Guardian – центральная длина волны – 202 нм (Zn) 782-900-035-241 Оптический фильтр Guardian – центральная длина волны – 241 нм (Со) 782-900-035-252 Оптический фильтр Guardian – центральная длина волны – 252 нм (Si) 782-900-035-265 Оптический фильтр Guardian – центральная длина волны – 265 нм (Ge, Pt, Ta, Ir) 782-900-035-267 Оптический фильтр Guardian – центральная длина волны – 267 нм (Au) 782-900-035-294 Оптический фильтр Guardian – центральная длина волны – 294 нм (Hf) (Ga [при использовании датчика, компенсирующего влияние газов]) 782-900-035-304 Оптический фильтр Guardian – центральная длина волны – 304 нм (Ba, In [при использовании датчика, компенсирующего влияние газов]) 782-900-035-325 Оптический фильтр Guardian – центральная длина волны – 325 нм (Cu, Cd, Ag) 782-900-035-358 Оптический фильтр Guardian – центральная длина волны – 358 нм (Nb, U, Cr) 782-900-035-364 Оптический фильтр Guardian – центральная длина волны – 364 нм (Ti, Pb) 782-900-035-396 Оптический фильтр Guardian – центральная длина волны – 396 нм (AI) 782-900-035-417 Оптический фильтр Guardian – центральная длина волны – 417 нм (Ga) 782-900-035-451 Оптический фильтр Guardian – центральная длина волны – 451 нм (In) 782-900-035-460 Оптический фильтр Guardian – центральная длина волны – 460 нм (Sr) 782-900-070 Монохроматор Настраиваемый оптический фильтр, позволяющий пользователю выбирать длину волны пропускаемого излучения. Диапазон настройки: 200-800 нм. Запасные части для новых узлов в составе вакуумного ввода и датчиков 4 мА, номер для заказа: 016-600-Gxx и -601 –Gxx 016-400-G1 Датчик потока, 4 мА, высокая скорость для узла в составе вакуумного ввода и датчика, номер для заказа: 016-600-Gxx 016-400-G2 Датчик потока, 4 мА, стандартная скорость для узла в составе вакуумного ввода и датчика, номер для заказа: 016-600-Gxx 016-400-G5 Датчик, компенсирующий влияние газов, 4 мА, для узла в составе вакуумного ввода и датчика, номер для заказа: 016-601-Gxx 016-400-G6 Датчик потока, 4 мА, для узла в составе вакуумного ввода и датчика, номер для заказа: 016-601-Gxx 016-201-G1 Эмиттер в сборе для всех датчиков 016-400-Gx, используемых в моделях 016-600-Gxx и -601 -Gxx 782-900-038 Фотоэлектронный умножитель Guardian Служит для замены ФЭУ в оптическом детекторе. 016-509-G22 Кабель для вакуума к ЭСЭВ датчику Guardian, 4 мА, длина 559 мм, можно заказать кабель другой длины Датчик, компенсирующий влияние газов, использует два кабеля. Модификация для новых датчиков 4 мА. Запасная часть для датчиков, снятых с производства 782-530-015 Катод датчика Guardian (для снятых с производства датчиков 782-900-036 и -056) Сменные катоды для ЭСЭВ датчиков. Датчик, компенсирующий влияние газов, использует два катода. 44 Поставки и сервис ООО «ЭмЭсЭйч Техно», тел./факс: +7 (495) 660-88-97, 722-12-90, www.msht.ru
www.msht.ru Вакуумные вводы и датчики на основе кристалла кварца