PDF, Русский, 6 МБ - MSH Techno «ЭмЭсЭйч Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾

ИЗМЕРИТЕЛИ И КОНТРОЛЛЕРЫ НА ОСНОВЕ КРИСТАЛЛА КВАРЦА ДЛЯ ПРОЦЕССА НАПЫЛЕНИЯ
Технические характеристики
Характеристики измерения
Разрешающая способность (A/с/измерение) 1 0,00433
Макс. смещение частоты кристалла
Диапазон частоты кристалла и точность (при измерении за 100 мс)
1,5 МГц
Погрешность измерения толщины 2 0.5%
Частота измерения
Усреднение серии измерений
Особенности конструкции
Измерение несколькими датчиками
Автоматическое определение Z-фактора
Автонастройка
Совместное напыление
Управление данными и программа процесса
Программы для материалов 32
Число слоёв для одного процесса 200
Число процессов
USB-карта памяти
Регистрация данных
Технические средства и особенности
Датчики 3
Один 8
Два/CrystalTwo®
CrystalSix® 8
Crystal 12® 8
Общий 8
Управление источниками
6,0-4,5 МГц +/-0,0035 Гц
10 Гц
возможно усреднение за 0,1; 0,4; 1,0; 4,0; 10,0; 20,0 и 30,0 сек.
да (до 8 датчиков)
да
да
да (до 6 источников)
Число источников4 не более 6
Управляющее напряжение
50 (процессы можно объединять)
да
да
4/8 (с переключателем CrystalTwo)
от 0 до ±10 В, регулируется
Дискретность вывода 15 бит во всём диапазоне (0-10 В)
Число позиций для тигля 64
Вводы/Выводы
Вводы
Выводы
Вывод для устройства регистрации 4
Логические инструкции
Передача данных
Стандартная
Дополнительно
14 ЦАП, можно увеличить до 28 (нет в стандартной комплектации);
совместимы с логикой ТТЛ/КМОП или замыкание на землю
8 ЦАП, можно увеличить до 24 (нет в стандартной комплектации)
задаваемых из программы однополюсных реле с номинальными
характеристиками: среднеквадратичное действующее значение 30
В (пост. ток) или 30 В (перем. ток); пиковое значение 42 В и 2,5 А;
14 дополнительных ТТЛ-выводов
от 0 до +10 В, регулируется
100 полностью программируемых; до 5 операций; 5 событий в
инструкции
RS232
Ethernet
17
Поставки и сервис ООО «ЭмЭсЭйч Техно», тел./факс: +7 (495) 660-88-97, 722-12-90, www.msht.ru