PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
ИЗМЕРИТЕЛИ И КОНТРОЛЛЕРЫ НА ОСНОВЕ КРИСТАЛЛА КВАРЦА ДЛЯ ПРОЦЕССА НАПЫЛЕНИЯ<br />
Контроллер IC6<br />
напыления тонких плёнок<br />
Превосходная<br />
повторяемость<br />
ОПТИЧЕСКИЕ ПРИЛОЖЕНИЯ<br />
Контроллер IC6 напыления тонких плёнок предоставляет очень<br />
полезные возможности, комбинируя проверенные эксплуатационные<br />
характеристики контроллеров INFICON напыления тонких<br />
плёнок с уникальными функциями, разработанными для максимально<br />
эффективного использования технологии напыления. В<br />
контроллере IC6 реализована разработанная нами система измерения<br />
частоты ModeLock, чтобы обеспечить стабильное измерение<br />
толщины плёнки и скорости напыления с высоким разрешением.<br />
Наш прибор обладает непревзойдённой другими подобными<br />
контроллерами разрешающей способностью по скорости 0,00433<br />
А/с каждую 1/10 секунды. Высокая разрешающая способность и<br />
надёжность, а также возможность реализации до 50 процессов с<br />
200 слоями в каждом дают ощутимые преимущества в оптических<br />
процессах, например при нанесении покрытий с высокой отражающей<br />
способностью, противоотражающих покрытий и полосовых<br />
фильтров. Ни один другой контроллер на основе кристалла кварца<br />
не обладает рабочими характеристиками, качеством и функциями,<br />
которые имеет контроллер IC6, обеспечивающий непревзойденную<br />
повторяемость процедуры измерения.<br />
НАДЁЖНЫЙ КОНТРОЛЬ ПРОЦЕССА<br />
Контроллер IC6, обладающий всеобъемлющим набором функций,<br />
легко интегрировать в систему для обеспечения полного контроля<br />
над процессом. IC6 способен контролировать толщину и скорость<br />
напыления плёнки одновременно для 6 источников. До 12 аналоговых<br />
выводов можно назначить для управления источником,<br />
мониторинга скорости напыления и толщины плёнки.<br />
ПРЕИМУЩЕСТВА<br />
Технология INFICON ModeLock обеспечивает наиболее стабильный<br />
процесс измерения толщины плёнки и скорости напыления с самым<br />
высоким разрешением по сравнению с другими контроллерами,<br />
даже при очень низких скоростях напыления<br />
Функция Auto Z повышает точность измерения толщины плёнки путём<br />
автоматического определения Z-фактора (отношение акустических<br />
импедансов кварцевого кристалла и осажденного материала)<br />
в процессе напыления материала<br />
Совместное напыление одновременно несколькими (не более 6)<br />
источниками<br />
Цветной ЖК дисплей на основе технологии тонкоплёночных транзисторов<br />
(TFT) наглядно отображает параметры процесса напыления<br />
±0,0035 Гц при измерении за 100 мс<br />
USB-устройство для хранения данных, моментальных снимков<br />
экрана, программы процесса напыления и регистрации данных<br />
Многофункциональный ввод-вывод обеспечивает гибкую интеграцию<br />
в простые или сложные системы (используя дополнительные<br />
вводы (до 28) и выводы (24 вывода реле и 14 ТТЛ-вывода), а также<br />
использование логических функций (100 логических инструкций)<br />
6 выводов ЦАП в стандартном исполнении, 6 дополнительных (нет<br />
в стандартной комплектации) выводов для управления источником,<br />
мониторинга скорости напыления и толщины плёнки<br />
Способен контролировать до 50 процессов с 200 слоями в каждом,<br />
эти процессы можно объединять, но максимальное число слоёв<br />
10000<br />
Усреднение по нескольким датчикам (до 8 датчиков)<br />
Кабель длиной 4 м в дополнительном комплекте генератора XIU позволяет<br />
использовать длинные кабели для датчика в вакууме для<br />
больших систем<br />
Интерфейс для передачи данных по сети Ethernet (нет в стандартной<br />
комплектации)<br />
Соответствует положениям директивы (RoHS), ограничивающей содержание<br />
вредных веществ<br />
Функция Auto Z значительно повышает точность измерения толщины плёнки,<br />
полученной путём напыления разных материалов в несколько слоёв.<br />
13<br />
Поставки и сервис ООО «ЭмЭсЭйч Техно», тел./факс: +7 (495) 660-88-97, 722-12-90, www.msht.ru
Change language