PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
Вакуумные вводы и датчики на основе кристалла кварца<br />
Датчик на 12 кристаллах (Crystal 12)<br />
Датчик на 12 кристаллах компании INFICON специально сконструирован<br />
для длительных технологических процессов, требующих<br />
непрерывного контроля скорости напыления. В OLED- и MBEприложениях,<br />
при производстве солнечных панелей или в других<br />
техпроцессах с длительным интервалом между вентиляциями камеры,<br />
датчик Crystal 12 обеспечивает высокую надёжность за счёт<br />
12 кварцевых кристаллов, установленных в одной головке измерительного<br />
датчика.<br />
При использовании с Cygnus®, XTC/3M, XTC/3S, SQC310 или SQC310C<br />
датчик на 12 кристаллах автоматически поворачивает новый кристалл<br />
в рабочую позицию в случае повреждения или нестабильной<br />
работы кристалла. Кристаллы автоматически переключаются, не<br />
прерывая процесс непрерывного контроля скорости напыления.<br />
Чтобы свести к минимуму время простоя, кристаллы можно вставить<br />
во вторую дополнительную карусель, которую затем без труда<br />
можно быстро установить вместо карусели с использованными<br />
кристаллами – это сокращает время пребывания системы под атмосферным<br />
давлением.<br />
Механизм с пневматическим приводом осуществляет периодическую<br />
круговую подачу кристаллов. Этот пневмодвигатель обеспечивает<br />
более высокую тепловую стабильность по сравнению с<br />
модулями конкурентов, в которых используются дорогие электродвигатели<br />
для работы в условиях вакуума, выделяющие тепло.<br />
Трубки для воды диаметром 1/8 дюйма поддерживают стабильную<br />
температуру головки датчика и не ограничивают возможность выбора<br />
местоположения датчика.<br />
ПРЕИМУЩЕСТВА<br />
Вмещает 12 кристаллов с надёжным автоматическим механизмом переключения для сведения к минимуму времени простоя<br />
Легко извлекаемая карусель обеспечивает быструю замену всех 12 кристаллов<br />
Стабильная температура кристалла, благодаря использованию пневматического механизма переключения кристаллов (модули конкурентов<br />
используют электродвигатели, выделяющие тепло)<br />
¼-дюймовые трубки для воды поддерживают стабильную температуру и не ограничивают возможность выбора местоположения датчика<br />
Легкоснимаемый передний антинапылительный экран защищает кристалл и карусель от осаждения напыляемого материала, что сводит к минимуму<br />
необходимость извлекать датчик целиком для техобслуживания<br />
Пользователь может адаптировать дополнительный монтажный опорный комплект под метрическое оборудование<br />
Дополнительно можно заказать затвор кристалла<br />
88<br />
Поставки и сервис ООО «ЭмЭсЭйч Техно», тел./факс: +7 (495) 660-88-97, 722-12-90, www.msht.ru
Change language