PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
PDF, Ð ÑÑÑкий, 6 ÐÐ - MSH Techno «ÐмÐÑÐÐ¹Ñ Ð¢ÐµÑ Ð½Ð¾
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
ИЗМЕРИТЕЛИ И КОНТРОЛЛЕРЫ НА ОСНОВЕ КРИСТАЛЛА КВАРЦА ДЛЯ ПРОЦЕССА НАПЫЛЕНИЯ<br />
Технические характеристики<br />
Характеристики измерения<br />
Вводы QCM для датчиков В стандартном исполнении: 2; дополнительно: 4<br />
Диапазон частот<br />
1-6,5 МГц<br />
Разрешающая способность по частоте<br />
В стандартном исполнении: ±0,12 Гц при 4 показаниях в секунду<br />
Дополнительно: ±0,03 Гц при 10 показаниях в секунду<br />
Стабильность частоты общая: ±2 ppm в диапазоне 0-50 °C<br />
Выбираемый период измерения 0,10-2 с (с шагом 0,05 с)<br />
Фильтр измерений<br />
1-20 показаний<br />
Количество плёнок в памяти 99<br />
Аналоговые выводы<br />
два: 0-5 В постоянного тока, значения скорости напыления и толщины<br />
Дискретные вводы/выводы<br />
два ввода и четыре вывода реле<br />
Цифровой интерфейс<br />
В стандартном исполнении: RS-232. Дополнительно: USB или Ethernet<br />
Электропитание<br />
100-120/200-240 В, 50/60 Гц, 20 Вт<br />
Соответствие требованиям СЕ<br />
Оборудование класса 1,<br />
73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD<br />
Установка<br />
½ стойка, высота 3 ½, 89 x 213 x 197 мм<br />
Масса<br />
2,7 кг<br />
ПО под Windows® (в комплекте)<br />
Обеспечивает дистанционную настройку и управление, функции регистрации данных – см.<br />
снимки экрана ниже.<br />
30<br />
Поставки и сервис ООО «ЭмЭсЭйч Техно», тел./факс: +7 (495) 660-88-97, 722-12-90, www.msht.ru
Change language