Physical Sciences and Engineeering37)Ilse K<strong>at</strong>z Institute for NanoscaleGurion UniversityScience and Technology, Ben‐ומלגתבננוטכנולוגיה. המכון מממן שכר לימוד מלאבינתחומיהינההשנייהלכל הסטודנטים בתוכנית. לימודים מורחבתבהלתואר ראשון בננוטכנולוגיה, שהמשתתפיםתכניתובהנדסהכפול בכימיהלימודיהם עם תואר את מסיימים כימית.להמספק לחוקרים בתחומי ה ההאוניברסיטה ומחוצההמכון וברמת תחזוקה גבוההחדשנית ייחודית, תשתית מחקר קורת גג אחת, עם צוות מקצועי מומחהכולה תחת המרוכזתמחקר בסיסהמכון מאפשרים לחוקרי כל האמצעים הנ"ל ויישומי ברמה בינלאומית.לתאריםעומדים לרשות הסטודנטיםהצוות והתשתית עלהדרכתם והכשרתם לעבודה עצמאיתגם לצורך מתקדמיםהמכשור המשוכלל והייחודי.מחקרתשתית המחקר עומדת גם לרשות התעשייה לצורכיואנליזות שונות.,.המכון התשתית: תשתית ההמחקר עוברת הערכה עלהערכת ידי שתי ועדות:המייעצת לנשיאת האוניברסיטה בנושאיועדת היגוי פנימיתמשקיפיםננוטכנולוגיה ופעמיים בשנה מזמינה לישיבותיהאת נציג המדען הראשי במשרד התמ"ת,חיצוניים, הכולליםנציג ול"ן ,INNI נציג המדען הראשי ב במשרד המדע ונציג ות"ת.המייעצת הבינלאומית לננו-מדע וטכנולוגיההועדה מתכנסת ומבקרת את המכון מדי ששנה (החל מ- רקבלת דו" "ח מפורט על פעילות המכון מידי מנהל המכון.- INAB2006), לאחרהמחקרמנהל המכון הוא פרופ' יובל גולן. נתונים לגבי תשתיתשלהתקבלו מד"ר ציונה אלקיים, מנהלת ת מעבדות השירותומנהליתעוזרת מדעיתכרמן סגל, מכון אילזה כ"ץ ומד" "ר למנהל המכון.http://www.bgu.ac.-אתר האינטרנט:il/iki.כתובת המכון:(בניןהננומטרימכון אילזה כץאוניברסיטתבתחוםלמדע וטכנולוגיהבאר‐שבעבן-גוריון בנגב,(5184105
Physical Sciences and Engineering38) המרכז לייצור מערכות ננומטריות, אוניברסיטת בן-גוריוןתשתית קיימתתאור תשתית המחקר:1המרכז לייצור מערכות ננומטריות באוניברסיטת בן-גוריוןכולל שלושה חדרים נקיים ושתי מעבדות ננו-פאבריקציה.פאב נפתח בשנת בשטח של מטרים רבועיםומרכז את מכונות הנידוף והאיכול. פאב נפתח בשנתבשטח של מטרים רבועים ומרכז את מכונותהליטוגרפיה השונות והמנדפים. פאב (כרגע בשלביהקמה) בשטח של מטרים רבועים מיועד לאפליקציותבתחום הביו-פיסיקה. מעבדות הננו-פאבריקציה כוללותמעבדת אפיון רכיבים (חשמלי ואופטי) ומעבדת7023200570502007.Packagingלרשות המרכז עומד ציוד ייצור מתקדם הכולל מערכותאלקטרונים (ברזולוציה שללליטוגרפית לליטוגרפיה אופטית (כולל מערכת לייצור מסכות), מערכתוכן מערכות לנידוף ושיקועלליטוגרפיה בעזרת לייזר, המרכז מספק תכנון, פיתוח אינטגרציה לתהליכישכבות. ייצור ננומטרים. למרכז יכולות ייחודיות לאיכול ספיר, איכוללזכוכית וסיליקון, יצירת חורים בקטרים מתחתתכנון וייצור מבנים לפני שטח רפלקטיבייםל ו-ואנטירפלקטיבים, מבנים שלמענהנותן וכן מבנים באיכויות גבוהות למיקרו דיסק לדרישות שונות הבאות הן מהמחקר והן מהתעשייה בתחום.chip packagingמרכז הפבריקציה נותן שירות לחוקרים משטחי מחקרשונים: פיזיקה, כימיה, ביולוגיה, מדעי המחשב, מדעי הטבע,הנדסת חשמל ואלקטרואופטיקה, הנדסת חומרים, הנדסתוהנדסתהנדסה כימית, הנדסת ביוטכנולוגיה סביבתית, אנרגיה.,(nm מערכות,plasmonic6blaze gr<strong>at</strong>ingעמוק (HAR),10nmמתקנים עיקריים בתשתית ועלותם:C<strong>at</strong>egoryThin filmsDepositionEtch toolsLithographyBakingMachineThermal Evapor<strong>at</strong>or(Odem)e-gun Evapor<strong>at</strong>or (Odem)Sputter (Odem)PECVD (Corial)RIE (Corial)DRIE (Corial)Laser writerE-Beam(Reith E-Line)LPCVDPrice [$]615,0001.5M786,0002,724,000638,000משתמשים בתשתית ומדיניות גישה למשתמשים:מספר משתמשים בתשתית לשנה (לפי נתוני שנת 2009):מדיניות גישה למשתמשים: מרכז הננו פועל ללא מטרת רווחותשתית המחקר פתוחה לשימוש משתמשים פנימיים וחיצונייםבעלות סבירה. העבודה מתבצעת על ידי צוות המרכז או באופןעצמאי על ידי חוקרים או סטודנטים שעברו הכשרה מתאימה.מימון ושיתופי פעולה: מקורות המימון המרכזיים לשלב ההקמההראשוני של תשתית המחקר היו: מימון פרטי מחו"ל (תרומות),מימון ממשלתי ומימון מאוניברסיטת בן-גוריון.המרכז ומשתמשיו זכו במספר גדול של מענקים ושיתופי פעולהמקרנות וגופים כגון:ותוכניות של האיחודהאירופאי. כמו כן, התקיימו הדרכות Ph.D במסגרת Marie Curieמקורות מימון נוספיםלתפעול של התשתית מגיעים מאוניברסיטת בן-גוריון וכןמעבודות פיתוח וייצור עבור גורמי חוץ (מהתעשייה ומוסדותאקדמיים בארץ וחו"ל). הסכום הממוצע לעלויות המרכז (תפעולמוערך בכשוטף, כ"א ואחזקה) בין השניםDIP, Telem, GIF, BSF, Convergingtechnologies ,Wolfson and Horovitz-8 . 1צוות מדעי/הנדסי קבוע: שהפעיל אתתשתית המחקרמספר משתמשים פנימיים בתשתית(מהארגון בו ממוקמת התשתית)מספר משתמשים חיצוניים מהמדינה(שאינם מהארגון בו ממוקמת התשתית)משתמשים חיצוניים מהאקדמיהמשתמשים חיצוניים מהתעשייהמשתמשים חיצוניים מארגוניםממשלתיים/ציבורייםמספר משתמשים חיצוניים מחו"לסה"כ משתמשים בתשתית (סיכום סעיפים 2-4) 29מספר המשתמשים הווירטואליים בתשתיתמספר הדוקטורנטים שהסתייעו בתשתית 415 . 210 . 3א . 4ב . 5ג . 14 . 42015–.fellowship for post doc training2011-.1M$/yearתרומת התשתית: למרכז הננו פבריקציה תפקיד חשובבקידום ההוראה והמחקר של טכנולוגיות מתקדמות בתחום(ננו מדע וננו טכנולוגיה)בישראל ובנגב בפרט.המרכז מתמקד במתן שירותי ייצור ו-R&D בתחום הננוטכנולוגיה לחוקרי אוניברסיטת בן-גוריון ולמוסדות אקדמאיםנוספים בישראל (כבר ניתן שרות לחוקרים במכון ויצמן למדע,אוניברסיטת בר-אילן והאוניברסיטה העברית בירושלים).תשתית המרכז מאפשרת שיתוף פעולה אקדמאי בין חוקריאוניברסיטת בן-גוריון וחוקרים בינלאומיים, וכן מסייעת לחוקריהאוניברסיטה להתמודד ולקבל קרנות מחקר לאומייםובינלאומיים לקידום וביצוע מחקרם.Nano Scale Science & Engineering
Change language