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LINDE TECHNOLOGY // spEzIALGAsE
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Spezialgase für die halbleiter- und Solarzellenfertigung
SoNNIGE AUSSIchTEN
Ätzen, Dotieren, Schichten und Reinigen: Bei der Herstellung von Halbleiter-Chips
und Bauteilen für Flachbildschirme erfüllen Elektronikgase vielfältige Aufgaben.
In der modernen Solartechnik entwickeln sie sich mittlerweile zu einem bedeutenden
Produktionsfaktor. Mit innovativen Technologien erhöhen Linde-Ingenieure jetzt die
Effizienz im Herstellungsprozess der Solarzellen. Das kommt auch der Umwelt zugute.
Im Osten geht bekanntlich die Sonne auf. Für Frankfurt/Oder gilt das
künftig im doppelten Sinne: Mitte 2007 hat die Conergy AG, eines der
führenden Solarunternehmen in Europa, in der deutsch-polnischen
Grenzstadt die weltweit erste, vollintegrierte Massenproduktion von
Solarmodulen in Betrieb genommen. Bislang führte der Weg von der
unbehandelten Silizium-Scheibe (Wafer) bis zur fertig verdrahteten
Solarzelle (Modul) über Firmen- und meist sogar Ländergrenzen
hinweg. Conergy hat den gesamten Prozess nun unter einem Dach
vereint. 2008 sollen bereits Module mit einer Gesamtleistung von
250 Megawatt vom Band laufen. Mehr als 50.000 Haushalte könnten
so mit Strom versorgt werden.
Um die Qualität hoch und die Kosten niedrig zu halten, wurde
die Anlage konsequent auf Effizienz getrimmt. So verkürzt die kompakte
Anordnung der Produktionslinien die Transportwege, während
ihr hoher Automatisierungsgrad die Bruchgefahr der empfindlichen
Zellen mindert. Auch die Auswahl der Zulieferer erfolgte nach Effizienzkriterien:
So erhielt das Linde-Joint Venture Linde Nippon Sanso
den Auftrag für die Lieferung von Stickstoff sowie den Spezialgasen
Argon, Helium, Wasserstoff, Ammoniak und Silan, weil das Unternehmen
garantierte, die gesamte Logistik sowie den Betrieb der Stickstofferzeugung
vor Ort – also onsite – innerhalb von nur vier Monaten
in Gang zu setzen. Normalerweise wird dafür die dreifache Zeit verplant.
„Dieser Auftrag ist ein weiterer Beleg für die wachsenden Einsatzmöglichkeiten
von Gasen bei erneuerbaren Energien“, erklärt Dr.
Aldo Belloni, Mitglied des Vorstands der Linde AG und unter anderem
verantwortlich für die Business Area Elektronikgase.
Die Sorge um das globale Klima hat Energiequellen, die sich nicht
aus der Verbrennung fossiler Rohstoffe speisen, einen wahren
Boom beschert. Davon profitiert auch die Halbleiterindustrie, denn
die Solarbranche entwickelt sich zum echten Umsatzmotor. Während
Marktforscher beispielsweise in klassischen Halbleitersegmenten
wie den Mikrochips und Flachbildschirmen bis 2010 Umsatzzuwächse
von maximal acht Prozent pro Jahr erwarten, liegen die
Prognosen im Solarbereich bei rund 30 Prozent – Tendenz steigend.
„Wir rechnen damit, dass die Fotovoltaik-Produzenten ab 2012 mehr
Geld für Gase ausgeben als die Hersteller von Flachbildschirmen“,
prognostiziert Dean O´Connor, Leiter der Marktentwicklung im Linde-
Geschäftsbereich Elektronikgase. „Und 2017 werden sie in dieser Hinsicht
wohl auch die Chip-Produzenten überholen.“
Linde verstärkt Engagement bei fotovoltaik
Linde hat auf diese Entwicklung frühzeitig reagiert. Bereits Mitte der
1980er Jahre hatte das Unternehmen begonnen, hochreine Gase speziell
für die Halbleiterindustrie zu erzeugen, weil der damalige Großkunde
Siemens in die Produktion von Speicherchips eingestiegen war.
Angesichts der „sonnigen Aussichten“ wurden die Produktions- und
Vertriebskapazitäten dieses Geschäftsbereichs in den vergangenen
drei Jahren stark erweitert. So erwarb Linde 2004 die Mehrheit an
Linde Nippon Sanso, einem Joint Venture mit dem japanischen Gase-
Hersteller Taiyo Nippon Sanso, um die europäische Halbleiterindustrie
umfassend mit Elektronikgasen, Services und Geräten zu beliefern.
Als Gaselieferant spielt Linde Nippon Sanso eine führende Rolle