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LINDE TECHNOLOGY // spEzIALGAsE 50 Spezialgase für die halbleiter- und Solarzellenfertigung SoNNIGE AUSSIchTEN Ätzen, Dotieren, Schichten und Reinigen: Bei der Herstellung von Halbleiter-Chips und Bauteilen für Flachbildschirme erfüllen Elektronikgase vielfältige Aufgaben. In der modernen Solartechnik entwickeln sie sich mittlerweile zu einem bedeutenden Produktionsfaktor. Mit innovativen Technologien erhöhen Linde-Ingenieure jetzt die Effizienz im Herstellungsprozess der Solarzellen. Das kommt auch der Umwelt zugute. Im Osten geht bekanntlich die Sonne auf. Für Frankfurt/Oder gilt das künftig im doppelten Sinne: Mitte 2007 hat die Conergy AG, eines der führenden Solarunternehmen in Europa, in der deutsch-polnischen Grenzstadt die weltweit erste, vollintegrierte Massenproduktion von Solarmodulen in Betrieb genommen. Bislang führte der Weg von der unbehandelten Silizium-Scheibe (Wafer) bis zur fertig verdrahteten Solarzelle (Modul) über Firmen- und meist sogar Ländergrenzen hinweg. Conergy hat den gesamten Prozess nun unter einem Dach vereint. 2008 sollen bereits Module mit einer Gesamtleistung von 250 Megawatt vom Band laufen. Mehr als 50.000 Haushalte könnten so mit Strom versorgt werden. Um die Qualität hoch und die Kosten niedrig zu halten, wurde die Anlage konsequent auf Effizienz getrimmt. So verkürzt die kompakte Anordnung der Produktionslinien die Transportwege, während ihr hoher Automatisierungsgrad die Bruchgefahr der empfindlichen Zellen mindert. Auch die Auswahl der Zulieferer erfolgte nach Effizienzkriterien: So erhielt das Linde-Joint Venture Linde Nippon Sanso den Auftrag für die Lieferung von Stickstoff sowie den Spezialgasen Argon, Helium, Wasserstoff, Ammoniak und Silan, weil das Unternehmen garantierte, die gesamte Logistik sowie den Betrieb der Stickstofferzeugung vor Ort – also onsite – innerhalb von nur vier Monaten in Gang zu setzen. Normalerweise wird dafür die dreifache Zeit verplant. „Dieser Auftrag ist ein weiterer Beleg für die wachsenden Einsatzmöglichkeiten von Gasen bei erneuerbaren Energien“, erklärt Dr. Aldo Belloni, Mitglied des Vorstands der Linde AG und unter anderem verantwortlich für die Business Area Elektronikgase. Die Sorge um das globale Klima hat Energiequellen, die sich nicht aus der Verbrennung fossiler Rohstoffe speisen, einen wahren Boom beschert. Davon profitiert auch die Halbleiterindustrie, denn die Solarbranche entwickelt sich zum echten Umsatzmotor. Während Marktforscher beispielsweise in klassischen Halbleitersegmenten wie den Mikrochips und Flachbildschirmen bis 2010 Umsatzzuwächse von maximal acht Prozent pro Jahr erwarten, liegen die Prognosen im Solarbereich bei rund 30 Prozent – Tendenz steigend. „Wir rechnen damit, dass die Fotovoltaik-Produzenten ab 2012 mehr Geld für Gase ausgeben als die Hersteller von Flachbildschirmen“, prognostiziert Dean O´Connor, Leiter der Marktentwicklung im Linde- Geschäftsbereich Elektronikgase. „Und 2017 werden sie in dieser Hinsicht wohl auch die Chip-Produzenten überholen.“ Linde verstärkt Engagement bei fotovoltaik Linde hat auf diese Entwicklung frühzeitig reagiert. Bereits Mitte der 1980er Jahre hatte das Unternehmen begonnen, hochreine Gase speziell für die Halbleiterindustrie zu erzeugen, weil der damalige Großkunde Siemens in die Produktion von Speicherchips eingestiegen war. Angesichts der „sonnigen Aussichten“ wurden die Produktions- und Vertriebskapazitäten dieses Geschäftsbereichs in den vergangenen drei Jahren stark erweitert. So erwarb Linde 2004 die Mehrheit an Linde Nippon Sanso, einem Joint Venture mit dem japanischen Gase- Hersteller Taiyo Nippon Sanso, um die europäische Halbleiterindustrie umfassend mit Elektronikgasen, Services und Geräten zu beliefern. Als Gaselieferant spielt Linde Nippon Sanso eine führende Rolle
Energiespender Sonne: Moderne Solarkraftwerke können heute bereits Spitzenleistungen von rund 12 Megawatt erreichen. DIE sONNE HAT zukuNfT prognose: weltweit neu installierte solarleistung (quelle: Sarasin 2006) Jahr Megawatt (peak) pro Jahr prognose: weltweit verkaufte solarzellen (quelle: EpIA) Mrd. € pro Jahr 2006 1.501 9 2007 1.834 12 2008 2.322 16 2009 3.053 21 2010 4.097 25 Solarstrom für die Bahn: Fotovoltaikanlage auf dem hauptbahnhof Berlin spEzIALGAsE // LINDE TECHNOLOGY 51 in der europäischen Fotovoltaikindustrie. Außerdem wurde die Marktposition der Linde Group in Amerika und Asien im Jahr 2006 durch die Übernahme von BOC gestärkt. Die globale Präsenz des Unternehmens wird ein wichtiger Wettbewerbsvorteil im Solarmarkt der Zukunft sein. Denn während das Gros der Mikrochips und Flachbildschirme vor allem in Asien und – in geringerem Umfang – in Amerika gefertigt wird, rückt mit dem aktuellen Solarboom auch Europa wieder ins Zentrum des Halbleitergeschehens. Allein im Osten Deutschlands sollen bis zum Jahr 2008 mindestens sieben Fotovoltaik-Produktionsstätten den Betrieb aufnehmen. Technologisch bauen alle diese Anwendungsgebiete auf die gleiche Basis: auf Halbleiter, meist in Form von Silizium. Dieses Element stellt innerhalb der Erdhülle ein Viertel der Masse und zeichnet sich dadurch aus, dass seine elektrische Leitfähigkeit manipuliert werden kann. Je nach Zustand wirkt es wie ein Leiter oder wie ein Isolator. Die Solartechnik nutzt diese Eigenschaften, um Licht in elektrische Energie zu verwandeln. In der Mikrochip-Technik wiederum dienen sie zum Bau von elektrischen Schaltern (Transistoren), mit deren Hilfe die heutzutage fast allgegenwärtigen, winzigen Rechenmaschinen für Computer, Mobiltelefone und Kraftfahrzeuge hergestellt werden. Oder aber sie kommen in großflächigen Flüssigkristall- Displays (LCDs) zum Einsatz, wo sie die Beleuchtung der einzelnen Bildpunkte steuern. Bei der Metamorphose vom rohen Silizium-Wafer zum hochspezialisierten Bauelement übernehmen die Elektronikgase, die eine Autor: Frank Grünberg Bildquelle: laif 1 1
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