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LINDE TECHNOLOGY // spEzIALGAsE
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SpEzIALIST FüR SpEzIALGASE
Linde Nippon Sanso, das Joint Venture zwischen The Linde Group und Taiyo Nippon Sanso, wurde 1999
gegründet, 2005 übernahm Linde einen mehrheitlichen Anteil. Heute hat das Unternehmen seinen
Sitz in Pullach. Der Gase-Spezialist beliefert die Halbleiter- und Fotovoltaikindustrie in Europa mit dem
gesamten Portfolio an Elektronikgasen, Gasversorgungsanlagen und dazugehörigen Dienstleistungen –
von der Beratung über kundenspezifische Lösungen bis hin zur schlüsselfertigen Projektplanung.
maximale Verunreinigung von einem Fremdpartikel pro eine Millionen
Moleküle aufweisen dürfen, vielfältige Aufgaben. Beispielsweise bei
der Dotierung: Dabei werden Fremdatome in das Grundmaterial eines
integrierten Schaltkreises eingebracht, um die elektrischen Eigenschaften
nach Wunsch zu verändern. Dazu nutzt man beispielsweise
so genannte Dotiergase wie Diboran, Arsin oder Phosphin – spezielle
Verbindungen aus Wassserstoff und Bor beziehungsweise Arsen und
Phosphor.
Auch bei der Epitaxie – ein Vorgang, bei dem Gase wie Silan
und Wasserstoff reagieren, um feinste Siliziumschichten auf dem
Wafer abzuscheiden – kommen Elektronikgase von Linde zum Einsatz.
Atmosphärengase wie Stickstoff, Sauerstoff oder Argon wiederum
erfüllen in Reinigungs- und Spülprozessen eine wichtige Aufgabe.
Beim Ätzen schließlich tragen Fluorgase den vorbehandelten
Halbleiter dort gezielt ab, wo die zuvor erfolgte Belichtung einen flächig
verteilten Fotolack nicht zerstört hat, weil er durch eine Maske
geschützt war. Bis zu mehrere hundert Male wiederholt, ermöglicht
dieser fotolithografische Prozess, die elektronischen Schaltkreise
Schicht für Schicht ins Silizium zu prägen. Weil die Strukturierungsprozesse
aber keineswegs für alle Anwendungen gleich sind, werden
die Elektronikgase je nach Bauelement in unterschiedlicher Zahl
und Menge benötigt. „Während bei der Herstellung von Mikroprozessoren
rund 20 verschiedene Gase verwendet werden, sind es bei
Solarzellen lediglich fünf“, erklärt Klaus Bomhard, Leiter des neuen
Elektronikgase-Werks am Linde-Standort Unterschleißheim bei München.
„Insgesamt allerdings wird bei den Solarzellen eine wesentlich
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größere Menge benötigt“, so der Diplom-Physiker, der mit dafür verantwortlich
ist, dass sein Unternehmen den wachsenden Bedarf an
Elektronikgasen decken kann. Denn das zurzeit modernste Werk für
Elektronikgase weltweit vor den Toren Münchens, das im September
2006 den Betrieb aufgenommen hat, ist Teil des weltweiten Elektronikgas-Netzwerks,
das 2005 durch die Übernahme des US-amerikanischen
Spezialgaseunternehmens Spectra Gases erheblich erweitert
wurde. Spectra Gases produziert nicht nur hochreine Gase für die
Halbleiterforschung und -produktion, sondern auch Gasmischungen
für Excimer-Laser (siehe auch Seite 32 „Operation Scharfblick“). Diese
Lichtquellen liefern die kurzwellige Strahlung, die für die Lithografie
von Halbleitern unentbehrlich ist. In diesem Markt hält Spectra Gases
einen Anteil von 80 Prozent. Weitere Werke der Linde Group in China,
Taiwain und den USA versorgen den Weltmarkt mit Spezialgasen für
die Elektronikindustrie.
Abfüllkapazität mehr als verdoppelt
In Unterschleißheim wurden alle Abläufe, vom Handling über das
Abfüllen der Gaszylinder bis hin zur Qualitätskontrolle des Endprodukts
auf Massenproduktion getrimmt. Während im alten Werk,
intern „B10“ abgekürzt, lediglich 5.000 Behälter pro Jahr befüllt werden
konnten, sind es im neuen Werk „B21“ bis zu 12.000 Stück in
Zylindergrößen zwischen zehn und 50 Litern. Trotz einer Erhöhung
der Produktionspalette von 25 auf 30 unterschiedliche Gase gelang
es, die Lieferzeit teilweise von vier auf zwei Wochen zu reduzieren.
Aber nicht nur die Kapazität, auch die Produktqualität ist gestiegen.